[发明专利]声波谐振器滤波器

权利要求书

1.一种声波谐振器滤波器，包括：

串联部，所述串联部包括串联电连接在所述声波谐振器滤波器的第一端口和第二端口之间的至少一个串联声波谐振器，所述至少一个串联声波谐振器被配置为将射频信号从所述第一端口传输到所述第二端口；以及

分路部，所述分路部包括电连接在所述串联部的一个节点与地之间的多个分路声波谐振器，

其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器的反谐振频率之间的差小于所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器的谐振频率之间的差。

2.如权利要求1所述的声波谐振器滤波器，其中，所述谐振频率之间的所述差小于所述多个分路声波谐振器的多个谐振频率中的谐振频率与所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率之间的差，并且

其中，所述多个谐振频率中的所述谐振频率高于所述至少一个串联声波谐振器的所述谐振频率。

3.如权利要求1所述的声波谐振器滤波器，其中，所述串联部和所述分路部提供通带，

所述多个分路声波谐振器的多个反谐振频率中的每个反谐振频率位于所述通带内，并且

所述多个分路声波谐振器的多个谐振频率中的每个谐振频率位于所述通带外。

4.如权利要求1所述的声波谐振器滤波器，其中，所述多个分路声波谐振器彼此反串联连接。

5.如权利要求1所述的声波谐振器滤波器，其中，所述多个分路声波谐振器中的两个或更多个分路声波谐振器具有不同的厚度。

6.如权利要求5所述的声波谐振器滤波器，

其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器具有大于所述至少一个串联声波谐振器的厚度的厚度，并且

其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器之间的厚度差小于所述多个分路声波谐振器中的较薄的分路声波谐振器与所述至少一个串联声波谐振器之间的厚度差。

7.如权利要求5所述的声波谐振器滤波器，其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器包括：

谐振部，包括第一电极、压电层和第二电极；以及

保护层和/或疏水层，设置在所述谐振部上方，并且

其中，所述多个分路声波谐振器的相应保护层和/或疏水层中的两个或更多个保护层和/或疏水层具有不同的厚度。

8.如权利要求5所述的声波谐振器滤波器，

其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器分别包括第一电极、压电层和第二电极，并且

其中，所述多个分路声波谐振器中的每个分路声波谐振器之间的厚度差大于所述多个分路声波谐振器的每个谐振部中的相应的第一电极、相应的压电层和相应的第二电极的叠置面积的所有平方根之间的差。

9.如权利要求1所述的声波谐振器滤波器，

其中，所述多个分路声波谐振器中的一个分路声波谐振器包括修整部，所述修整部使所述一个分路声波谐振器的厚度不同于所述多个分路声波谐振器中的另一分路声波谐振器的厚度，并且

其中，与除了没有所述修整部之外与所述一个分路声波谐振器构造相同的分路声波谐振器相比，所述一个分路声波谐振器根据所述修整部具有更接近于所述另一分路声波谐振器的反谐振频率的反谐振频率。