[发明专利]一种固晶机

权利要求书

1.一种固晶机，其特征在于，包括：

供晶机构(1)，其包括晶元环(11)，所述晶元环(11)上设有用于供应晶片(14)的供晶位(13)；

旋转机构(2)，其包括转盘(21)，所述转盘(21)转动设于所述晶元环(11)的一侧，且所述转盘(21)的旋转平面(20)与所述晶元环(11)相垂直；

承装机构(3)，其包括基板(31)，所述基板(31)设于所述转盘(21)的一侧，所述基板(31)上设有用于固定晶片(14)的固晶位(32)，所述基板(31)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；

取放机构(4)，其包括晶片吸嘴(41)，所述晶片吸嘴(41)设于所述转盘(21)上且用于吸取所述晶片(14)；

所述晶元环(11)的一侧表面平行于第一平面(10)，所述第一平面(10)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；

所述基板(31)的一侧表面平行于第二平面(30)，所述第二平面(30)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；

所述第一平面(10)与所述第二平面(30)相平行；

并包括适配直径在100mm- 500mm的晶元盘(12)和长宽均为600mm的基板(31)；

所述取放机构(4)还包括取放驱动装置(42)、取晶相机(43)以及固晶相机(44)；

还包括校正机构(5)，所述校正机构(5)包括校正相机(51)以及校正驱动装置(52)，所述校正相机(51)设于所述供晶位(13)和所述固晶位(32)之间，用于获取所述晶片吸嘴(41)上的所述晶片(14)的位置，所述校正驱动装置(52)的动力输出端与所述晶片吸嘴(41)连接，用于驱动所述晶片吸嘴(41)周向转动，所述校正驱动装置(52)与所述校正相机(51)电连接；

还包括检测机构(6)，所述检测机构(6)包括检测相机(61)以及清洁头(62)，所述检测相机(61)设于所述转盘(21)的外周且与所述校正相机(51)相对的一侧，所述检测相机(61)用于获取所述晶片吸嘴(41)上的图像，所述检测相机(61)与所述取放驱动装置(42)电连接。

2.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述供晶机构(1)还包括晶元环驱动装置(15)，所述晶元环驱动装置(15)的动力输出端与所述晶元环(11)连接，用于驱动所述晶元环(11)沿所述第一平面(10)的第一方向(101)或者所述第一平面(10)的第二方向(102)移动；

其中，所述第一方向(101)与所述第二方向(102)相垂直。

3.根据权利要求2所述的固晶机，其特征在于，所述承装机构(3)还包括基板驱动装置(33)，所述基板驱动装置(33)的动力输出端与所述基板(31)连接，用于驱动所述基板(31)沿所述第二平面(30)的第三方向(301)或者所述第二平面(30)的第四方向(302)移动；

其中，所述第三方向(301)与所述第四方向(302)相垂直。

4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述第一平面(10)与所述第二平面(30)相平行，且所述第一方向(101)与所述第三方向(301)相平行以及所述第二方向(102)与所述第四方向(302)相平行。

5.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述取放驱动装置(42)的动力输出端与所述晶片吸嘴(41)连接，用于驱动所述晶片吸嘴(41)沿所述转盘(21)的径向方向且相对于所述转盘(21)移动，所述取晶相机(43)对应于所述供晶位(13)设置，所述固晶相机(44)对应于所述固晶位(32)设置，且所述取放驱动装置(42)与所述取晶相机(43)以及所述固晶相机(44)电连接。

6.根据权利要求5所述的固晶机，其特征在于，所述取放驱动装置(42)设于所述转盘(21)上，且所述取放驱动装置(42)的动力输出端连接于所述校正驱动装置(52)，所述校正驱动装置(52)的动力输出端连接所述晶片吸嘴(41)，所述取放驱动装置(42)能够驱动所述校正驱动装置(52)沿所述转盘(21)的径向方向且相对于所述转盘(21)移动，带动所述晶片吸嘴(41) 沿所述转盘(21)的径向方向且相对于所述转盘(21)移动。