[发明专利]芯片局部涂覆装置

权利要求书

1.一种芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述装置包括：机箱、涂覆装置、载物台和显微镜，所述机箱的一侧开设有涂覆作业口，所述涂覆装置包括涂覆探针，所述涂覆装置安装在所述机箱内部，且所述涂覆探针从所述涂覆作业口伸出至所述机箱外部，所述显微镜和所述载物台均固定安装在所述机箱上，且所述载物台位于所述涂覆作业口的下方，所述显微镜位于所述涂覆作业口的上方。

2.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置还包括蠕动泵和硅脂储存罐；

所述硅脂储存罐通过硅脂传输管与蠕动泵的进料口连通，所述蠕动泵的出料口通过硅脂传输管与涂覆探针的进料口连通。

3.根据权利要求2所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置还包括涂覆控制按钮；

所述涂覆控制按钮通过线缆连接到所述蠕动泵的控制端，用于控制所述蠕动泵执行相应的动作。

4.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述显微镜包括固定架、显微镜本体、光源组件、目镜和物镜；

所述显微镜本体通过固定架固定在所述机箱上，所述物镜固定安装在所述显微镜本体的底部，所述目镜固定安装在所述显微镜本体的上部，所述光源组件固定在所述物镜上。

5.根据权利要求4所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述光源组件为环形LED灯组件。

6.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述载物台包括竖直方向上层叠设置的载物板、支架和底板；

所述载物板通过第一移动组件与支架连接，使得载物板能够在垂直于支架的方向上水平移动；

所述支架通过第二移动组件与底板连接，使得支架能够在平行于支架的方向上水平移动，从而带动所述载物板在平行于支架的方向上水平移动；

所述底板通过底板上开设的螺纹孔套接在竖直设置的丝杆上，使得所述底板能够沿竖直方向上下移动，从而带动所述支架和所述载物板沿竖直方向上下移动。

7.根据权利要求6所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述支架包括平行设置的多条支撑杆；

所述第一移动组件包括第一齿轮和第一齿条，所述第一齿轮固定在所述载物板的底部，所述第一齿条固定在支架上，且垂直于每条所述支撑杆；

所述第二移动组件包括第二齿轮和第二齿条，所述第二齿轮固定在所述支架的底部，所述第二齿条固定在所述底板的上表面，且平行于所述支撑杆。

8.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述涂覆探针固定在探针固定座上。

9.根据权利要求8所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述探针固定座包括三轴移动组件，所述涂覆探针固定在所述固定板上，所述固定板安装在所述三轴移动组件上，使得所述固定板能够通过所述三轴移动组件在X轴、Y轴和Z轴方向上移动。

10.根据权利要求1所述的芯片局部涂覆装置，其特征在于，所述涂覆探针内径为5-10um，外径为10-15um。