[发明专利]运动模组及具有其的运动装置

说明书

本发明提供了一种运动模组及具有其的运动装置，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第二定子部和第二动子部；第二定子部固定于第一动子部上，第二动子部滑动连接于第一动子部，且第二动子部可相对于第一动子部沿竖直方向移动；第一动子部可带动第二移动组件相对于第一定子部沿水平方向移动；重力补偿组件，与第二移动组件连接，重力补偿组件对第二移动组件施加与重力方向相反的作用力，以抵消第二移动组件的部分重力。本发明解决了现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。

技术领域

本发明涉及微型运动平台技术领域，具体而言，涉及一种运动模组及具有其的运动装置。

背景技术

目前，电子信息技术的高速发展带动和催生相关产业链的发展和革新，其中，制约芯片发展的重要因素是制造芯片的设备不完善，以高精度的微动运动平台为例，高精度的微动运动平台可以保证芯片制造过程中的精度要求，提高芯片的质量。

现有的微动运动平台大多依靠直线电机作为动力源，电机运动过程中，线圈会产生大量的热量，长时间会降低线圈的工作性能，线圈本身及线圈接线处的绝缘性和稳定性也会直接影响电机的质量；此外，运动平台自身的重力也会对加工精度造成影响，进而会导致降低芯片的加工精度。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种运动模组及具有其的运动装置，以解决现有技术中的运动模组的动力源不稳定，加工精度较低的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种运动模组，包括：第一移动组件，包括第一定子部和第一动子部；第一动子部与所第一定子部滑动连接，第一动子部可相对于第一定子部沿水平方向移动；第二移动组件，包括第二定子部和第二动子部；第二定子部固定于第一动子部上，第二动子部滑动连接于第一动子部，且第二动子部可相对于第一动子部沿竖直方向移动；第一动子部可带动第二移动组件相对于第一定子部沿水平方向移动；重力补偿组件，与第二移动组件连接，重力补偿组件对第二移动组件施加与重力方向相反的作用力，以抵消第二移动组件的部分重力。

进一步地，第一动子部包括水平移动板，水平移动板相对于第一定子部沿水平方向可移动地设置；第二定子部包括：第二线圈组件，第二线圈组件设置在水平移动板上；第二动子部包括：竖向移动板，沿竖直方向可滑动地连接至水平移动板上；竖向移动板上设置有第二磁钢组，第二磁钢组与第二线圈组件相对设置，以使第二磁钢组在第二线圈组件的磁力作用下带动竖向移动板相对水平移动板沿竖直方向移动；重力补偿组件与竖向移动板连接。

进一步地，第二线圈组件包括：第二电路板；第二线圈组，设置在第二电路板的电路连接端面上，并与第二电路板电连接；第二绝缘层，盖设在第二线圈组上并与第二电路板连接。

进一步地，第二线圈组件还包括第二背板，第二电路板设置在第二背板上，第二背板的边缘设置有台阶结构，第二背板固定连接至水平移动板上。

进一步地，第二移动组件还包括：第二滑轨，设置在水平移动板上，第二滑轨沿竖直方向延伸，竖向移动板连接至第二滑轨上；第二线圈组件设置在第二滑轨的侧方。

进一步地，第二滑轨为两个，两个第二滑轨在水平方向上相对间隔设置，竖向移动板与两个第二滑轨组件均连接；第二线圈组件设置在两个第二滑轨之间。

进一步地，第一动子部还包括：第一磁钢组，设置在水平移动板上并位于第二线圈组件的上方；第一定子部包括第一线圈组件和固定板；第一线圈组件设置在固定板上，第一线圈组件与第一磁钢组相对设置，以使第一磁钢组在第一线圈组件的磁力作用下带动水平移动板相对固定板沿水平方向移动。

进一步地，第一移动组件还包括：第一滑轨，设置在固定板上，第一滑轨沿水平方向延伸；第一滑轨为两个，两个第一滑轨在竖直方向上相对间隔设置，水平移动板连接至两个第一滑轨上；第一线圈组件设置在两个第一滑轨之间。