[发明专利]半导体制造中的废水的利用方法

说明书

本发明涉及半导体制造中的废水的利用方法，包括以下步骤：采集废水，然后将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。本发明的利用方法能够将废水中的低品位热能利用起来，在夏季和冬季对温度偏高和偏低的工艺用水进行预先的冷却或加热，相比于直接加热或冷却工艺用水，本发明的方法能够起到降低能耗的作用。

技术领域

本发明涉及半导体制造中的废水的利用方法。

背景技术

半导体行业大量使用自来水，制程要求自来水需要通过换热器换热将温度控制到23℃左右，经过纯水制备工序，用于半导体各个清洗工序中，使用过的废水再经过三废处理达到排放标准后废水温度一般在20℃至27℃左右。这部分废水在半导体行业具有总量大和相对恒温的特性。

与此同时，用于半导体制造的工艺用水一般来自自来水管网，这些自来水在夏季和冬季存在温度偏高和偏低的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于利用半导体废水的低品位热能解决工艺用水在夏季和冬季温度偏高和偏低的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种半导体制造中的废水的利用方法，包括以下步骤：

采集废水的步骤，

将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。

在本发明的一些实施例中，所述的废水是晶圆的清洗废水。

在本发明的一些实施例中，所述的管壳式换热器的管程采用波节管。

本发明的利用方法能够将废水中的低品位热能利用起来，在夏季和冬季对温度偏高和偏低的工艺用水进行预先的冷却或加热，相比于直接加热或冷却工艺用水，本发明的方法能够起到降低能耗的作用。

具体实施方式

为了将半导体制造中的废水的低品位热能进行利用，本发明的利用方法包括了以下步骤：

采集废水的步骤，

将废水和来自管网的自来水分别引入管壳式换热器的管程和壳程进行换热。

经过上述步骤，可以将废水的热能用于预热或预冷来自管网的自来水，从而降低整体能耗。

以下，结合实施例对于本发明作进一步说明。

利用晶圆的清洗废水，将清洗废水通过管道从起排放口引至波节管式的管壳式换热器，自来水则通过管道从管网引至该管壳式换热器，自来水和废水分别走管程和壳程。

通过上述方法，在夏季可将32℃的自来水，利用波节管的管壳式换热器与低温20℃-27℃废水换热，将高温的自来水降温到28℃以下进行预冷，后续再通过专用设备将自来水进一步降低到23℃左右。在冬季可将5℃左右的自来水，利用波节管的管壳式换热器与20℃-27℃废水换热，将低温的自来水升温到12℃以上进行预热，后续再通过专用设备将自来水进一步加热到23℃左右。

夏季自来水预冷降温后，可以节省后续制冷降温能源消耗，折合电费，预计每吨自来水节电：

5.82÷5×(32℃-28℃)×0.7元/KW＝3.25元/吨

冬季自来水预热加热后，可以节省后续加热能源消耗，折合电费，预计每吨自来水节电：

5.82÷5×(12℃-5℃)×0.7元/KW＝5.7元/吨

实际运行效果良好，折合电费，全年节电测算120万元左右。

本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。