[发明专利]一种显示面板及显示面板制作方法在审
申请号: | 202111489394.8 | 申请日: | 2021-12-08 |
公开(公告)号: | CN114188358A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 宋继越;艾飞;宋德伟;龚帆 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/167;G02F1/1676;G02F1/1677 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基板;
薄膜晶体管器件,所述薄膜晶体管器件设置在所述基板上,其中,所述薄膜晶体管器件包括有源层、层间绝缘层以及源极走线,所述有源层具有半导体部以及位于半导体部两侧的源极部和漏极部,所述层间绝缘层设置在所述有源层上,所述源极走线设置在所述层间绝缘层上;
感光元件,所述感光元件与所述薄膜晶体管器件设置在所述基板的同一侧;
其中,所述层间绝缘层上设置有第一通孔和第二通孔,所述源极走线通过所述第一通孔与所述源极部连接,所述感光元件的至少部分设置在所述第二通孔内。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述感光元件至少包括依次层叠设置的第一电极、感光层;其中,所述第一电极与所述漏极部电性连接,至少部分所述感光层填充于所述第二通孔内。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第一电极采用的材料为掺杂多晶硅、掺杂非晶硅、金属中的一种或其组合,所述感光层采用的材料为本征非晶硅。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第一电极与所述漏极部采用的材料为N型掺杂多晶硅,且所述第一电极与所述漏极部同层设置。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述第二通孔由所述层间绝缘层远离基板的一侧表面延伸至所述第一电极远离所述基板的一侧表面。
6.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括栅极绝缘层,所述薄膜晶体管器件还包括栅极,所述栅极绝缘层设置在所述有源层上,所述栅极设置在所述栅极绝缘层上,所述层间绝缘层设置在所述栅极上且延伸至所述栅极绝缘层,所述第一通孔以及所述第二通孔延伸至所述栅极绝缘层靠近所述基板的一侧表面。
7.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述源极部上具有凹槽,所述源极走线延伸至所述凹槽且与所述凹槽侧壁接触。
8.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管器件还包括栅极以及漏极走线,所述第一电极包括第一子电极和第二子电极,所述栅极设置在所述基板上,且与所述有源层异层绝缘设置,所述漏极走线与所述漏极部连接,所述漏极走线与所述源极走线同层设置,所述第一子电极与所述栅极同层设置,且通过所述漏极走线连接所述漏极部,所述第二子电极设置在所述第一子电极远离所述基板的一侧表面。
9.根据权利要求8所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括栅极绝缘层,所述层间绝缘层还包括第三通孔,所述栅极绝缘层设置在所述有源层上,所述栅极设置在所述栅极绝缘层上,所述层间绝缘层设置在所述栅极上且延伸至所述栅极绝缘层,所述源极走线和所述漏极走线分别通过所述第一通孔连接所述源极部与所述漏极部,所述第二子电极通过所述第二通孔连接所述第一子电极,所述漏极走线还通过所述第三通孔连接所述第一子电极。
10.根据权利要求9所述的显示面板,其特征在于,所述第二通孔由所述层间绝缘层远离所述基板的一侧表面延伸至所述第一子电极远离所述基板的一侧表面。
11.根据权利要求2至10任一项所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括保护层,所述保护层设置在所述感光层远离所述基板的一侧表面。
12.根据权利要求11所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括顶电极层,所述顶电极层设置在所述保护层上,所述感光元件还包括第二电极,所述第二电极与所述顶电极层同层设置,所述保护层上设置有第一过孔,所述第二电极通过所述第一过孔连接所述感光层。
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