[发明专利]一种显示面板及显示面板制作方法在审
申请号: | 202111489394.8 | 申请日: | 2021-12-08 |
公开(公告)号: | CN114188358A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 宋继越;艾飞;宋德伟;龚帆 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/167;G02F1/1676;G02F1/1677 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制作方法 | ||
本申请实施例公开了一种显示面板及显示面板制作方法。本申请实施例采用提供一种新集成结构的感光显示面板。本申请实施例提供的显示面板中将感光元件集成到阵列基板上。感光元件与薄膜晶体管器件设置在基板的同一侧。感光元件中的某些部件可与薄膜晶体管器件中的一些部件采用同一步骤制作,因此可以提高感光元件在阵列基板上的集成度。另外,集成度提高之后,能够减少对显示面板厚度的影响,使集成后形成的显示面板更轻薄化。并且,由于没有增加额外的工艺步骤,能够有效控制制作的成本。由此,可以以较少的光罩、更低的成本将感光元件集成于显示面板中。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板及显示面板制作方法。
背景技术
随着面板产业的迅猛发展,人们除了对显示器高分辨、宽视角、低功耗等要求外,也对显示面板提出了其它要求。其中环境光检测功能可以根据外部环境的亮度自动调节屏幕亮度,也可以根据外界的环境,在拍照时自动打开闪光灯或者进行补光。在对现有技术的研究和实践过程中,本申请的发明人发现,现在的环境光感光元件基本都采用外挂方式,这样无法避免地增加了制作的成本。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板及显示面板制作方法,可以采用较少的光罩将感光元件集成到面板内。
本申请实施例提供一种显示面板,包括:
基板;
薄膜晶体管器件,所述薄膜晶体管器件设置在所述基板上,其中,所述薄膜晶体管器件包括有源层、层间绝缘层以及源极走线,所述有源层具有半导体部以及位于半导体部两侧的源极部和漏极部,所述层间绝缘层设置在所述有源层上,所述源极走线设置在所述层间绝缘层上;
感光元件,所述感光元件与所述薄膜晶体管器件设置在所述基板的同一侧;
其中,所述层间绝缘层上设置有第一通孔和第二通孔,所述源极走线通过所述第一通孔与所述源极部连接,所述感光器件的至少部分设置在所述第二通孔内。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述感光元件至少包括依次层叠设置的第一电极、感光层;其中,所述第一电极与所述漏极部电性连接。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一电极采用的材料为掺杂多晶硅、掺杂非晶硅、金属中的一种或其组合,所述感光层采用的材料为本征非晶硅。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一电极与所述漏极部采用的材料为N型掺杂多晶硅,且所述第一电极与所述漏极部同层设置。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第二通孔由所述层间绝缘层远离基板的一侧表面延伸至所述第一电极远离基板的一侧表面。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述显示面板还包括栅极绝缘层,所述薄膜晶体管器件还包括栅极,所述栅极绝缘层设置在所述有源层上,所述栅极设置在所述栅极绝缘层上,所述层间绝缘层设置在所述栅极上且延伸至所述栅极绝缘层,所述第一通孔以及所述第二通孔延伸至所述栅极绝缘层靠近所述基板的一侧表面。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述源极部上具有凹槽,所述源极走线延伸至所述凹槽且与所述凹槽侧壁接触。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述薄膜晶体管器件还包括栅极以及漏极走线,所述第一电极包括第一子电极和第二子电极,所述栅极设置在所述基板上,且与所述有源层异层绝缘设置,所述漏极走线与所述漏极部连接,所述漏极走线与所述源极走线同层设置,所述第一子电极与所述栅极同层设置,且通过所述漏极走线连接所述漏极部,所述第二子电极设置在所述第一子电极远离所述基板的一侧表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的