[发明专利]带保护膜的工件的制造方法及带保护膜形成膜的工件的制造方法

权利要求书

1.一种带保护膜的工件的制造方法，其中，

形成依次层叠有工件、保护膜及支撑片的第四层叠体，

从所述支撑片侧对所述第四层叠体的所述保护膜进行激光照射，由此在所述保护膜与所述支撑片之间形成气体滞留的同时对所述保护膜的所述支撑片侧的表面进行激光打标。

2.根据权利要求1所述的带保护膜的工件的制造方法，其中，

形成层叠有保护膜形成膜及支撑片的保护膜形成用复合片，

在所述保护膜形成用复合片的所述保护膜形成膜上贴附工件，形成依次层叠有工件、保护膜形成膜及支撑片的第三层叠体，

对所述第三层叠体的保护膜形成膜进行固化处理，形成所述第四层叠体。

3.根据权利要求1所述的带保护膜的工件的制造方法，其中，

形成层叠有工件及保护膜形成膜的第一层叠体，

对所述第一层叠体的所述保护膜形成膜进行固化处理，形成层叠有工件及保护膜的第二层叠体，

在所述第二层叠体的所述保护膜上贴附支撑片，形成所述第四层叠体。

4.根据权利要求1所述的带保护膜的工件的制造方法，其中，

形成层叠有工件及保护膜形成膜的第一层叠体，

在所述第一层叠体的所述保护膜形成膜上贴附支撑片，形成依次层叠有工件、保护膜形成膜及支撑片的第三层叠体，

对所述第三层叠体的所述保护膜形成膜进行固化处理，形成所述第四层叠体。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的带保护膜的工件的制造方法，其中，

所述支撑片在基材上层叠有粘着剂层，所述第四层叠体依次层叠有工件、保护膜、所述粘着剂层及所述基材。

6.一种带保护膜形成膜的工件的制造方法，其中，

形成依次层叠有工件、保护膜形成膜及支撑片的第三层叠体，

从所述支撑片侧对所述第三层叠体的所述保护膜形成膜进行激光照射，由此在所述保护膜形成膜与所述支撑片之间形成气体滞留的同时对所述保护膜形成膜的所述支撑片侧的表面进行激光打标。

7.根据权利要求6所述的带保护膜形成膜的工件的制造方法，其中，

形成层叠有保护膜形成膜及支撑片的保护膜形成用复合片，

在所述保护膜形成用复合片的所述保护膜形成膜上贴附工件，形成所述第三层叠体。

8.根据权利要求6所述的带保护膜形成膜的工件的制造方法，其中，

形成层叠有工件及保护膜形成膜的第一层叠体，

在所述第一层叠体的所述保护膜形成膜上贴附支撑片，形成依次层叠有工件、保护膜形成膜及支撑片的第三层叠体。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的带保护膜形成膜的工件的制造方法，其中，

所述支撑片在基材上层叠有粘着剂层，所述第三层叠体依次层叠有所述工件、所述保护膜形成膜、所述粘着剂层及所述基材。

10.一种带保护膜的工件的制造方法，其中，对通过权利要求6～9中任一项所述的方法得到的带保护膜形成膜的工件的激光打标后的所述保护膜形成膜进行固化处理。

11.一种带保护膜的工件的制造方法，其中，对通过权利要求1～5中任一项所述的方法得到的带保护膜的工件进行加压处理或加热处理，使所述气体滞留消失。

12.一种带保护膜形成膜的工件的制造方法，其中，对通过权利要求6～9中任一项所述的方法得到的带保护膜形成膜的工件进行加压处理或加热处理，使所述气体滞留消失。

13.一种带保护膜的工件的制造方法，其中，对通过权利要求10所述的方法得到的带保护膜的工件进行加压处理或加热处理，使所述气体滞留消失。