[发明专利]检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统

权利要求书

1.一种检测数据的处理系统，其特征在于，包括：

区域划分模块，用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；

数据处理模块，用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。

2.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述基板包括晶圆；

以及，所述区域划分模块用于以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。

3.如权利要求2所述的检测数据的处理系统，其特征在于，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。

4.如权利要求3所述的检测数据的处理系统，其特征在于，沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分出至少两个区域。

5.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述数据处理模块用于获取基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；

以及，所述数据处理模块还用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。

6.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括：

配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。

7.如权利要求1所述的检测数据的处理系统，其特征在于，所述处理系统还包括：

数据存储介质，用于存储区域代码和与所述区域代码关联的检测数据。

8.一种检测数据的处理方法，其特征在于，包括：

将基板划分为至少两个区域，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；

获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。

9.如权利要求8所述的检测数据的处理方法，其特征在于，所述基板包括晶圆，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。

10.如权利要求8所述的检测数据的处理方法，其特征在于，获取基板的检测数据的方法包括：

得到基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；

将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。

11.如权利要求8所述的检测数据的处理方法，其特征在于，所述处理方法还包括：

建立配置表，并将基板的各个区域的区域代码记录于所述配置表内，并在所述配置表中建立各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。

12.一种基板的检测系统，其特征在于，包括：

检测设备，用于对基板进行检测，以得到基板的初始检测数据；

权利要求1-7任一项所述的检测数据的处理系统，用于接收基板的初始检测数据并处理。