[发明专利]检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统

说明书

本发明提供了一种检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统。该检测数据的处理系统可对基板进行区域划分，并将各个区域的检测数据与对应的区域关联，从而在查询特定区域的检测数据时可仅调取出该区域的数据，不仅减少了数据量，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统。

背景技术

在半导体加工制造中，常常需要对加工后的基板进行检测，并收集对基板的检测数据以便于对基板进行缺陷分析。在实际应用中，通常会将基板的检测数据存储于例如良率管理系统（Yield Management System，YMS）中，工程人员即可借助YMS系统进行缺陷/良率分析。

目前，在对基板进行检测时，常常会对基板的整个板面进行检测，以获得基板的整个板面的缺陷分布状况。在基板的量产中时，即会得到大量基板的检测数据，以及需要对大量基板进行缺陷/良率分析，并且在针对每一片基板进行分析时，从YMS系统中查询得到的检测数据均是基板的整个板面的检测数据。

因此，在调取基板的检测数据的过程中，就已经存在数据量较大的问题，从而导致查询速度慢，还会增加对数据的处理工作，严重影响了工作效率。尤其是，在工程人员仅需要分析基板中的某一个区域，而不需要整个基板的检测数据的情况下，则还需要额外的查询并去除冗余的数据，浪费了更多的时间，大大降低了分析效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测数据的处理系统，以解决现有的数据系统不利于人员针对特定区域的数据进行查询。

为解决上述技术问题，本发明提供一种检测数据的处理系统，包括：区域划分模块，用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，数据处理模块，用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。

可选的，所述基板包括晶圆。以及，所述区域划分模块用于以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。

可选的，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。

可选的，沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分出至少两个区域。

可选的，所述数据处理模块用于获取基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据。以及，所述数据处理模块还用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。

可选的，所述处理系统还包括：配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。

可选的，所述处理系统还包括：数据存储介质，用于存储区域代码和与所述区域代码关联的检测数据。

本发明的又一目的在于提供一种检测数据的处理方法，包括：将基板划分为至少两个区域，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。

可选的，所述基板包括晶圆，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。

可选的，获取基板的检测数据的方法包括：得到基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；以及，将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。

可选的，所述处理方法还包括：建立配置表，并将基板的各个区域的区域代码记录于所述配置表内，并在所述配置表中建立各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。