[发明专利]磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵在审
| 申请号： | 202111495714.0 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114215782A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 顾艳庆;成航航;蒋国安;李赏 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/053 | 分类号： | F04D29/053;F04D29/059;F04D29/12;F04D29/66 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 秦卫中 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 分子 主轴 结构 | ||
1.一种磁悬浮分子泵的主轴结构，其特征在于，包括：
主轴，所述主轴具有与所述磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；
凹槽，设置于所述主轴的所述周向圆周面上；以及
减震缓冲部件，设置于所述凹槽内。
2.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述凹槽为至少一个沿圆周方向设置的360°环形的凹槽。
3.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述凹槽为燕尾槽。
4.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述减震缓冲部件为密封圈。
5.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述密封圈为O形圈，所述密封圈以紧配合地方式安装于所述燕尾槽内。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的主轴结构，其特征在于，所述减震缓冲部件的一部分凸出于所述凹槽。
7.根据权利要求6所述的主轴结构，其特征在于，所述减震缓冲部件凸出于所述主轴的周向圆周面的垂直距离为0.5mm～1mm。
8.一种磁悬浮分子泵，其特征在于，包括：
壳体；
保护轴承；以及
如权利要求1至7中任一项所述的主轴结构，所述主轴结构安装于所述壳体内，所述保护轴承配合安装于所述主轴的外圈，所述周向圆周面与所述保护轴承之间形成一定间隙。
9.根据权利要求8所述的磁悬浮分子泵，其特征在于，所述保护轴承包括内圈，滚珠和外圈，所述凹槽设置于所述主轴的周向圆周面上，且与所述保护轴承的内圈对应的位置处。
10.根据权利要求8或9所述的磁悬浮分子泵，其特征在于，所述减震缓冲部件和所述保护轴承之间设置大于等于0.5mm的间隙。
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