[发明专利]磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵

说明书

本发明提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵，该磁悬浮分子泵的主轴结构包括：主轴，主轴具有与磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；凹槽，设置于主轴的周向圆周面上；以及减震缓冲部件，设置于凹槽内。本发明提供的磁悬浮分子泵的主轴结构在主轴的周向圆周面上设置了凹槽以及凹槽内的减震缓冲部件，当主轴跌落时，凹槽内减震缓冲部件使磁悬浮分子泵的主轴和保护轴承之间形成软连接，从而缓冲主轴与保护轴承之间由于碰撞产生的震动，延长保护轴承的寿命，降低更换保护轴承的成本。

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵。

背景技术

磁悬浮分子泵因其使用寿命长、可靠性高及可获得清洁真空等特点而被广泛应用。随着分子泵应用的越来越成熟，分子泵在工作过程中的使用稳定性和安全可靠性尤为重要。然而，在一些使用场景下，例如，当磁悬浮控制器故障，或者较大气流冲击时，高速旋转的主轴失稳跌落，跌落的主轴与磁悬浮分子泵内其它部件发生碰撞，造成壳体破碎、主轴或者磁轴承等部件的损坏。

为避免上述事故的发生，目前采用的措施是设置保护轴承，当主轴失稳跌落时，失稳的主轴会跌落在保护轴承上而不会与磁悬浮分子泵内其它部件直接接触，由此实现对主轴、磁轴承或壳体等部件起到保护作用。然而，由于跌落的高速旋转的主轴与保护轴承碰撞时能量特别大，对保护轴承的损伤程度较大，承受多次冲击后的保护轴承有可能处于失效状态，以至于不能继续正常工作，另外，保护轴承价格昂贵，频繁更换保护轴承也会造成成本增加等问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的实施例提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构与磁悬浮分子泵，以延长保护轴承的使用寿命以及降低成本。

第一方面，本发明的实施例提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构，该磁悬浮分子泵的主轴结构包括：主轴，主轴具有与磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；凹槽，设置于主轴的周向圆周面上；以及减震缓冲部件，设置于凹槽内。

在本发明第一方面的某些实施例中，凹槽为至少一个沿圆周方向设置的360°环形的凹槽。

在本发明第一方面的某些实施例中，凹槽为燕尾槽。

在本发明第一方面的某些实施例中，减震缓冲部件为密封圈。

在本发明第一方面的某些实施例中，密封圈为O形圈，密封圈以紧配合地方式安装于燕尾槽内。

在本发明第一方面的某些实施例中，减震缓冲部件的一部分凸出于凹槽。

在本发明第一方面的某些实施例中，减震缓冲部件凸出于主轴的周向圆周面的垂直距离为0.5mm～1mm。

第二方面，本发明的实施例提供了一种磁悬浮分子泵，该磁悬浮分子泵包括：壳体；保护轴承；以及如上所述的主轴结构，主轴结构安装于壳体内，保护轴承配合安装于主轴的外圈，周向圆周面与保护轴承之间形成一定间隙。

在本发明第二方面的某些实施例中，保护轴承包括内圈，滚珠和外圈，凹槽设置于主轴的周向圆周面上与保护轴承的内圈对应的位置处。

在本发明第二方面的某些实施例中，减震缓冲部件和保护轴承之间设置大于等于0.5mm的间隙。

根据本发明的实施例提供的磁悬浮分子泵的主轴结构和磁悬浮分子泵，在主轴与保护轴承配合安装的周向圆周面上设置了凹槽以及凹槽内的减震缓冲部件，当主轴跌落时，减震缓冲部件的设置使磁悬浮分子泵的主轴和保护轴承之间形成软连接，从而缓冲主轴与保护轴承之间由于碰撞产生的震动，延长保护轴承的寿命，降低成本，以及提高磁悬浮分子泵的使用稳定性。

本发明的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明