[发明专利]一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置在审
申请号: | 202111506731.X | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN114182229A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 乐务时 | 申请(专利权)人: | 金豹科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455 |
代理公司: | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人: | 麦振声 |
地址: | 215000 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金刚石 薄膜 具有 密封性 制备 装置 | ||
1.一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,包括底座(1)、压紧机构(5)和支架(13),其特征在于,所述底座(1)的外侧设置有连接框(2),且连接框(2)的顶部安装有连接座(3),并且连接座(3)的底部设置有密封条(4),所述压紧机构(5)设置于连接座(3)的外侧,且压紧机构(5)的顶部设置有密封防护罩(6),所述底座(1)的顶部开设有加工槽(7),且加工槽(7)的内部设置有导向杆(8),并且导向杆(8)的顶部设置有加工台(9),所述加工台(9)的底部设置有弹簧(10)。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述底座(1)的顶部设置有传动机构(11),且传动机构(11)的外侧设置有固定轨(12),所述支架(13)设置于传动机构(11)的端部,所述支架(13)的底部连接有滑轨(14),所述支架(13)的边侧设置有转轴(15),且转轴(15)的端部设置有斜块(16),并且斜块(16)的顶部设置有连接杆(17),所述连接杆(17)的端部连接有加工头(18),所述连接杆(17)的外侧设置有导向件(19),且导向件(19)的端部连接有固定杆(20)。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述压紧机构(5)包括固定板(501)、螺杆(502)和压紧块(503),所述固定板(501)的中部贯穿有螺杆(502),且螺杆(502)的的端部连接有压紧块(503)。
4.根据权利要求3所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述压紧块(503)通过螺杆(502)与固定板(501)之间构成升降结构,且压紧块(503)与螺杆(502)之间相互垂直,并且密封防护罩(6)通过螺杆(502)与连接框(2)之间构成可拆卸结构。
5.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述加工台(9)通过弹簧(10)与导向杆(8)之间构成升降结构,且导向杆(8)关于加工台(9)的中轴线对称设置。
6.根据权利要求2所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述传动机构(11)包括电动轴(1101)、传动杆(1102)、活动轨(1103)、推杆(1104),所述电动轴(1101)的端部连接有传动杆(1102),且传动杆(1102)的端部连接有活动轨(1103),并且活动轨(1103)的外侧设置有推杆(1104)。
7.根据权利要求6所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述推杆(1104)通过活动轨(1103)与传动杆(1102)之间构成传动结构,且支架(13)通过推杆(1104)与滑轨(14)之间构成滑动结构。
8.根据权利要求2所述的一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,其特征在于,所述加工头(18)通过连接杆(17)与斜块(16)之间构成转动结构,且连接杆(17)通过斜块(16)与转轴(15)之间构成传动结构,并且连接杆(17)通过导向件(19)与固定杆(20)之间构成滑动结构。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的