[发明专利]电子级硫酸生产用智能汽化及能量循环利用方法与装置

权利要求书

1.电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）开启外换热系统：将脱酸雾后的气提混合气进入换热器一，对蒸发器出口至换热器一的高纯空气进行换热、升温，换热后的混合气提进入尾气系统；

（2）开启内循环换热系统：将换热器一中升温后的高纯空气经换热器二进行温度补偿，换热器一出口温度计设定目标值介于60℃～80℃，换热器二热水温度控制在80℃～95℃，开启换热器一出口温度计与热水调节阀智能控制，达到设定目标值后的高纯空气进入空气缓冲罐，温度计与热水阀自动进行线性调节设置，阀门随温度反馈调节积分控制P设置为20%~60%，阀门随温度反馈调节微分控制T=200s ~360s；

（3）开启三氧化硫进料系统：将原料储罐中的三氧化硫打入蒸发器，当蒸发器液位到达指定液位时，空气缓冲罐中的高纯空气经风机输送至蒸发器对液体三氧化硫进行升温、蒸发制备得到电子级硫酸产品，三氧化硫气相压力与高纯热空气调节阀自动进行线性调节设置，其中阀门随压力反馈调节积分控制P设置为30%~80%，阀门随压力反馈调节反馈微分控制T设置为30s ~120s。

2.根据权利要求1所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，步骤（1）中所述的气提混合气为电子级硫酸生产系统中气提工序产生的混合气提，该混合气提经40-50℃的高纯氮气曝气、除雾后提升温度至70-90℃。

3.根据权利要求1所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，步骤（3）中三氧化硫以流量为15L/min~25L/min打入蒸发器，当蒸发器液位设定为70%～90%时，高纯空气输送至蒸发器中，控制三氧化硫气相压力计标准值设定为1kpa~30kpa。

4.根据权利要求1所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，该方法所用的装置如下，氧化硫储罐（1）经进料泵（2）与蒸发器（6）连接，蒸发器（6）内设置有加热盘管（8），加热盘管（8）的管道与换热器一（9）连接，换热器一（9）与换热器二（10）连接，换热器二（10）经风机（13）与加热盘管（8）连接。

5.根据权利要求4所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，三氧化硫储罐（1）至蒸发器（6）的管道上设置有流量计（4）及三氧化硫进料调节阀（5）；同时三氧化硫储罐（1）至蒸发器（6）的管道上设置有回流管道，回流管道上设置有回流阀（3）。

6.根据权利要求4所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，换热器一（9）与换热器二（10）的连接管道上设置有热水调节阀（12）。

7.根据权利要求4所述的电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用方法，其特征在于，换热器二（10）经风机（13）至加热盘管（8）的连接管道上设置有高纯空气进料调节阀（11），该高纯空气进料调节阀（11）与蒸发器（6）上设置的压力计（7）连接。