[发明专利]一种真空蒸镀机的坩埚系统

权利要求书

1.一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构(1)和坩埚结构(2)，电子枪结构(1)设置在坩埚结构(2)的前方，电子枪结构(1)发出电子束轰击加热坩埚结构(2)的坩埚(21)内的膜料，其特征在于，所述电子枪结构(1)包括支座(11)、灯丝(12)、高压头(13)、一体式线圈(14)和磁极(15)，所述支座(11)具有一个从上向下的凹陷部(111)，灯丝(12)和高压头(13)设置在凹陷部(111)内，高压头(13)设置在灯丝(12)的下方，高压头(13)对灯丝(12)进行高压放电，一体式线圈(14)设置在灯丝(12)的前方，磁极(15)设置在支座(11)的两侧和后方，一体式线圈(14)由一个水平横向设置的X线圈(141)和两个水平纵向设置的Y线圈(142)组成，X线圈(141)设置在前方，两个Y线圈(142)分别与X线圈(141)的两端连接并且位于X线圈(141)的后方，所述一体式线圈(14)和磁极(15)用于使得打入坩埚(21)内的光斑为点形或圆形。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述一体式线圈(14)通电后，在磁极(15)的作用下以磁场环抱的方式使得打入坩埚(21)内的光斑为点形或圆形，通过调整两个Y线圈(142)的电流大小调整光斑的大小。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，调整在X线圈(141)的左侧的Y线圈(142)的电流增大、并且调整在X线圈(141)的右侧的Y线圈(142)的电流减小，光斑向左移动；同理，调整在X线圈(141)的左侧的Y线圈(142)的电流减小、并且调整在X线圈(141)的右侧的Y线圈(142)的电流增大，光斑向右移动。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述支座(11)的上部向前凸出于支座(11)的中部，支座(11)的上部和中部为梯形，支座(11)的下部为底座，支座(11)下部的尺寸大于支座(11)中部的尺寸，所述凹陷部(111)贯穿支座(11)的上部的中部，并且贯穿支座(11)的中部的前部，高压头(13)的下表面与凹陷部(111)的底面固定，灯丝(12)安装在高压头(13)的上端，灯丝(12)位于支座(11)的上部的凹陷部(111)内。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，在支座(11)的上部，凹陷部(111)的前方及两侧方的支座(11)为中空部分(112)，所述中空部分(112)用于容纳设置一体式线圈(14)；所述凹陷部(111)的前方的中空部分(112)容纳设置X线圈(141)，凹陷部(111)的两侧方的中空部分(112)容纳设置Y线圈(142)，两个Y线圈(142)分别与X线圈(141)的两端固定，X线圈(141)的右端还与电线连接。

6.如权利要求5所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述支座(11)的内部具有流道(113)，流道(113)用于水或冷却液在流道(113)中流动冷却，支座(11)的下部的两侧设置有流道(113)的入口和出口，流道(113)包括在支座(11)的下部内水平横向设置的支道、在支座(11)的中部内垂直设置的支道和在支座(11)的上部的中空部分(112)的下方设置的支道。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀机的坩埚系统，其特征在于，所述磁极(15)由设置在支座(11)左侧的第一磁极(151)、设置在支座(11)右侧的第二磁极(152)和设置在支座(11)的后方的磁板(153)组成，第一磁极(151)和第二磁极(152)的结构相同。