[发明专利]一种光刻机掩膜版的智能存取方法

权利要求书

1.一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、准备工作

提供一个智能存取装置，智能存取装置包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置对应规格掩膜版盒的收纳盒，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有电控柜和抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述前腔体内位于竖直分隔板的前侧安装有顶推机构，所述顶推机构在前腔体内移动顶推任意一个收纳盒，所述柜体的前面板上设置有操作面板；

S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中，每个掩膜版盒对应一种规格的掩膜版，对掩膜版盒进行编号；

S3、将对收纳盒进行编号，将各掩膜版盒一一对应放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；

S4、电控柜控制抽气风机启动，使柜体内的空气洁净；

S5、当需要取出某一规格的掩膜版时，从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；

S6、电控柜驱动顶推机构移动到与该规格掩膜版所对应的收纳盒的后方；

S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；

S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。

2.如权利要求1所述的一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述收纳盒利用磁吸组件关闭将收纳盒关闭，并设置了用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，若工人忘记关闭收纳盒，提示报警。

3.如权利要求2所述的一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述操作面板上还设置有外置条形码扫码装置，所述掩膜版盒上设置有条形码，该条形码储存了掩膜版盒的编号信息，工人在放回掩膜版盒时，外置条码扫码装置扫码得出该掩膜版盒对应的收纳盒的编号，电控柜控制顶推机构移动到该收纳盒的后方顶推收纳盒。

4.如权利要求3所述的一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：每个收纳盒内还安装有用于检测收纳盒内掩膜版盒上条形码的内置条形码扫码装置，当掩膜版盒放入到收纳盒后，内置条形码扫码装置对掩膜版盒的条码进行扫码，并将该扫码得到掩膜版盒编号与收纳盒编号的对应关系进行核对，若出现对应关系错误，发出报警提示，并且顶推机构移动到该收纳盒的后方将该收纳盒推出。

5.如权利要求4所述的一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：所述顶推机构与收纳盒的顶推接触为弹性接触。