[发明专利]一种光刻机掩膜版的智能存取方法

说明书

本发明公开了一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：S1、提供一个智能存取装置；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中；S3、将各掩膜版盒放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、抽气风机启动；S5、从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机构移动到收纳盒的后方；S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。

技术领域

本发明涉及一种智能存取方法，用于智能存取光刻机掩膜版。

背景技术

光刻机是一种半导体生产设备，在光刻的过程中会利用到掩膜版，而由于晶圆进行光刻的图案有非常多种，因此就需要使用非常多的掩膜版，这样就导致掩膜版的规格也非常多，而目前的掩膜版的储存方式是放置在一个掩膜版盒内，掩膜版盒堆放在一个区域，当需要使用对应的掩膜版时需要人工翻动掩膜版盒，找到对应的掩膜版盒后取出掩膜版使用，这种储存方式存在以下弊端：1、这种存放方式在寻找对应规格的掩膜版时是比较繁琐的，寻找时间长；2、目前的掩膜版虽然放置在掩膜版盒内，但是掩膜版盒是放置在工作空间内，空间中可能有灰尘会进入到掩膜版盒内，从而附着在掩膜版上，这样就会影响光刻的精度和光刻质量；3、目前的这种储存方式可以在存放掩膜版时可以弄错，由于有非常多的掩膜版盒堆放在一起，当使用完掩膜版时需要放回时，工人可能因为拿错掩膜版盒，这样掩膜版盒和掩膜版就没有一一对应，这样下次使用时难以寻找或者直接使用错的掩膜版，这样就会造成大量的晶圆在光刻时图形出错，造成非常大的经济损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种光刻机掩膜版的智能存取方法，该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：

S1、准备工作

提供一个智能存取装置，智能存取装置包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置对应规格掩膜版盒的收纳盒，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有电控柜和抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述前腔体内位于竖直分隔板的前侧安装有顶推机构，所述顶推机构在前腔体内移动顶推任意一个收纳盒，所述柜体的前面板上设置有操作面板；

S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中，每个掩膜版盒对应一种规格的掩膜版，对掩膜版盒进行编号；

S3、将对收纳盒进行编号，将各掩膜版盒一一对应放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；

S4、电控柜控制抽气风机启动，使柜体内的空气洁净；

S5、当需要取出某一规格的掩膜版时，从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；

S6、电控柜驱动顶推机构移动到与该规格掩膜版所对应的收纳盒的后方；

S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；

S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。

优选的，所述收纳盒利用磁吸组件关闭将收纳盒关闭，并设置了用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，若工人忘记关闭收纳盒，提示报警，这样保证了收纳盒关闭准确可靠的同时，也能避免意外的发生。