[发明专利]一种半导体器件清洗装置

权利要求书

1.一种半导体器件清洗装置，其特征在于：其包括夹具支架，所述夹具支架上设置夹具支架卡套，所述夹具支架连接中心轴杆，所述中心轴杆连接传动机构，所述夹具支架连接摆动机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述半导体器件清洗装置包括空心主轴，所述空心主轴内设置主轴，所述主轴连接驱动装置，所述主轴通过带式传动装置连接所述中心主轴，形成所述传动机构。

3.根据权利要求2所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述空心主轴连接摆动装置，所述空心主轴通过传动手臂连接所述夹具支架。

4.根据权利要求1所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述夹具支架上设置有多个夹具支架卡套。

5.根据权利要求2所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述空心主轴两侧内分别设置有内齿轮，所述主轴上套装有外齿轮，所述外齿轮通过三个齿轮啮合所述内齿轮。

6.根据权利要求2所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述主轴上设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮通过驱动链连接第一电机，形成所述驱动装置，所述主轴上设置有第一带轮，所述中心轴杆上设置有第二带轮，所述第一带轮和所述第二带轮通过传动带连接，形成所述带式传动装置。

7.根据权利要求6所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述第一带轮和所述第二带轮为带式轮，所述传动带为与所述带式轮配合的带式链或者同步带。

8.根据权利要求2所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述空心主轴上设置有空心主轴齿轮，所述空心主轴齿轮通过电机齿轮啮合连接第二电机，形成摆动装置。

9.根据权利要求7所述的一种半导体器件清洗装置，其特征在于：所述带式链或者同步带为四氟材料。