[发明专利]磁场发生器的控制装置、试验装置以及磁场控制方法

权利要求书

1.一种磁场发生器的控制装置，其控制由磁场发生器产生的磁场，所述磁场发生器的控制装置的特征在于，

所述控制装置具备磁场控制电路，该磁场控制电路基于检测所述磁场的磁场传感器的检测值来控制所述磁场发生器，

所述磁场控制电路被输入由所述磁场发生器产生的磁场的指令值，

所述磁场控制电路被反馈并输入所述磁场传感器的所述检测值，

所述磁场控制电路根据所述指令值与所述检测值的误差来生成误差信号，

所述磁场控制电路将以控制增益对所述误差进行放大后的控制信号输出到所述磁场发生器，

所述控制增益包括：

第一增益，其包括所述误差信号的频率越高则增益越小的特性；以及

第二增益，其包括所述误差信号的振幅越大则增益越大的特性。

2.根据权利要求1所述的磁场发生器的控制装置，其特征在于，

所述第二增益根据对所述指令值的变动所要求的指令值响应性、对所述磁场发生器的输出变动所要求的输出值响应性以及对所述磁场传感器的所述检测值的变动所要求的检测值响应性来设定。

3.根据权利要求1或2所述的磁场发生器的控制装置，其特征在于，

所述第二增益包括增益相对于所述振幅的增加而连续地增加的特性。

4.一种试验装置，其对被测电子器件进行测试，所述试验装置的特征在于，

在所述试验装置中具备：

磁场发生器，其具有线圈以及芯，并对所述被测电子器件输出磁场；

磁场传感器，其检测所述磁场；以及

磁场控制电路，其基于所述磁场传感器的检测值来控制在所述线圈中流动的电流，

所述磁场控制电路被输入由所述磁场发生器产生的磁场的指令值，

所述磁场控制电路被反馈并输入所述磁场传感器的所述检测值，

所述磁场控制电路根据所述指令值与所述检测值的误差来生成误差信号，

所述磁场控制电路将以控制增益对所述误差进行放大后的控制信号输出到所述磁场发生器，

所述控制增益包括：

第一增益，其包括所述误差信号的频率越高则增益越小的特性；以及

第二增益，其包括所述误差信号的振幅越大则增益越大的特性。

5.一种磁场控制方法，其是对由磁场发生器产生的磁场进行控制的磁场控制方法，所述磁场控制方法的特征在于，

在所述磁场控制方法中具有：

通过反馈控制来获取检测所述磁场的磁场传感器的检测值的步骤；

获取由所述磁场发生器产生的磁场的指令值的步骤；

根据所述指令值与所述检测值的误差来生成误差信号的步骤；以及

将以控制增益对所述误差进行放大后的控制信号输出到所述磁场发生器的步骤，

所述控制增益包括：

第一增益，其包括所述误差信号的频率越高则增益越小的特性；以及

第二增益，其包括所述误差信号的振幅越大则增益越大的特性。