[发明专利]一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机在审

专利信息
申请号: 202111525868.X 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN114227959A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 胡天;龚胜;陈逢军;徐志强 申请(专利权)人: 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;B24B27/06
代理公司: 长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226 代理人: 谭勇
地址: 410000 湖南省长沙市高新开发区*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 辅助 切割 定位 晶圆加 工用 砂轮 划片
【权利要求书】:

1.一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的顶部固定连接有顶板(3),所述顶板(3)的底部设置有切割结构(4),所述底座(1)的顶部设置有辅助结构(5),所述辅助结构(5)的内部设置有滑动结构(6);

所述切割结构(4)包括电动伸缩缸(41),所述电动伸缩缸(41)的底部固定连接在顶板(3)的顶部,所述电动伸缩缸(41)的内部活动连接有伸缩杆(42),所述伸缩杆(42)的底部固定连接有连接板(43),所述连接板(43)的底部固定连接有U形架(44),所述U形架(44)的内部转动连接有划片砂轮(45),所述划片砂轮(45)的输出端固定连接有驱动机(46),所述连接板(43)的顶部设置有冲洗结构(47)。

2.根据权利要求1所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述冲洗结构(47)包括水箱(471),所述水箱(471)的底部固定连接在顶板(3)的顶部,所述水箱(471)的顶部固定连通有收缩管(472),所述收缩管(472)的底端固定连通有水泵(473),所述水泵(473)的右侧内部固定连通有进水管(474),所述进水管(474)的底端固定连通有存水管(475),所述存水管(475)的底部活动安装有喷水头(476)。

3.根据权利要求2所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述辅助结构(5)包括工作台(51),所述工作台(51)的底部固定连接在底座(1)的顶部,所述工作台(51)的顶部开设有限位槽(52),所述工作台(51)的内部靠近限位槽(52)的底部开设有矩形槽(53),所述工作台(51)的内部转动连接有转动轴(54),所述转动轴(54)的前端外壁固定连接有皮带轮(55),所述皮带轮(55)的外壁转动连接有皮带本体(56),所述转动轴(54)的外壁固定连接有第一滚轮(57),所述转动轴(54)的后端外壁固定连接在电机(58)的内部,所述工作台(51)的内部设置有稳定结构(59),所述工作台(51)的内部靠近限位槽(52)的一侧开设有滑槽(510)。

4.根据权利要求3所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述稳定结构(59)包括空腔(591),所述空腔(591)开设在工作台(51)的内部,所述空腔(591)的顶部开设有连接槽(592),所述空腔(591)的内壁固定连接有固定块(593),所述固定块(593)的右侧内部活动连接有第一活动轴(594),所述第一活动轴(594)的外壁活动连接有活动架(595),所述活动架(595)的底端内部活动连接有第二活动轴(596),所述第二活动轴(596)的外壁活动连接有滑轮(597),所述活动架(595)的底端外壁固定连接有第一弹簧(598),所述滑轮(597)的一侧滑动连接有梯形块(599),所述梯形块(599)的后侧外壁固定连接有滑动块(5910),所述滑动块(5910)的外壁滑动连接在滑动槽(5911)的内部,所述活动架(595)的顶端右侧固定连接有第二弹簧(5912),所述梯形块(599)的底端内部活动安装有第二滚轮(5913)。

5.根据权利要求4所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述滑动结构(6)包括放置板(61),所述放置板(61)活动连接在限位槽(52)的内部,所述放置板(61)的顶部固定连接有限位板(62),所述限位板(62)的内部开设有通孔(63),所述通孔(63)的内部设置有限位结构(64)。

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