[发明专利]一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机有效
申请号: | 202111528465.0 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN114227481B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 龚胜;胡天;徐志强;陈逢军 | 申请(专利权)人: | 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/22;H01L21/67 |
代理公司: | 长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226 | 代理人: | 谭勇 |
地址: | 410000 湖南省长沙市高新开发区*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多工位 同步 晶圆加 工用 砂轮 划片 | ||
1.一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的顶部固定连接有床身(2),所述床身(2)的顶部固定连接有盖板(3),所述盖板(3)的底部设置有划片结构(4),所述床身(2)的左侧开设有凹槽(5),所述机架(1)的顶部设置有多工位结构(6),所述机架(1)的顶部设置有稳定结构(7),所述机架(1)的顶部靠近盖板(3)的底部设置有多工位同步给料结构(8),所述床身(2)的右侧固定连接有固定柱(9),所述固定柱(9)的右端固定连接有放料筒(10),所述放料筒(10)的内部活动连接有晶圆本体(11);
所述划片结构(4)包括电动液压缸(41),所述电动液压缸(41)的底部固定连接在盖板(3)的顶部,所述电动液压缸(41)的内部活动连接有液压杆(42),所述液压杆(42)的底部固定连接有连接板(43),所述连接板(43)的底部固定连接有U形块(44),所述U形块(44)的前侧外壁固定连接有旋转电机(45),所述旋转电机(45)输出端的后端外壁转动连接在U形块(44)的内部,所述旋转电机(45)的输出端外壁螺纹连接有螺纹块(46),所述螺纹块(46)的底部前侧外壁固定连接有转动电机(47),所述转动电机(47)输出端的后端外壁转动连接在螺纹块(46)的内部,所述螺纹块(46)的外壁固定连接有磨砂轮(48);
所述多工位结构(6)包括电机一(61),所述电机一(61)的底部镶嵌在机架(1)的顶端内部,所述电机一(61)的内部固定连接有转动轴一(62),所述转动轴一(62)的顶部固定连接有齿轮(63),所述齿轮(63)的顶部固定连接有放置板(64),所述放置板(64)的一侧设置有固定结构(65);
所述固定结构(65)包括电动伸缩缸(651),所述电动伸缩缸(651)的底部固定连接在齿轮(63)的顶部,所述电动伸缩缸(651)的内部活动连接有伸缩杆(652),所述伸缩杆(652)的右端固定连接有推动板(653),所述推动板(653)的右侧固定连接有推动杆(654),所述推动杆(654)的右端固定连接有固定块(655);
所述稳定结构(7)包括电机二(71),所述电机二(71)的底部固定连接在机架(1)的顶部,所述电机二(71)的内部固定连接有转动轴二(72),所述转动轴二(72)的顶端外壁固定连接有固定环(73),所述固定环(73)的左侧外壁固定连接有卡接块(74);
所述多工位同步给料结构(8)包括支撑杆(81),所述支撑杆(81)的左端固定连接在床身(2)的右侧,所述支撑杆(81)的右端固定连接有支撑架(82),所述支撑架(82)的底部右端固定连接有固定板(83),所述固定板(83)的内部开设有通孔一(84),所述固定板(83)的内部靠近通孔一(84)的顶部外壁开设有滑动槽一(85),所述滑动槽一(85)的内部设置有活动结构(86),所述滑动槽一(85)的内部固定连接有电动气缸(87),所述支撑架(82)的顶部右端设置有送料结构(88);
所述活动结构(86)包括滑动板(861),所述滑动板(861)的底部滑动连接在滑动槽一(85)的内部,所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔一(862),所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔二(863),所述滑动板(861)的顶部固定连接有销座(864),所述销座(864)的内部固定连接有销轴(865),所述销轴(865)的外壁活动连接有活动块(866),所述活动块(866)的前侧外壁固定连接有矩形块(867);
所述送料结构(88)包括固定座(881),所述固定座(881)的左侧外壁固定连接在支撑架(82)的顶部右端,所述固定座(881)的内部开设有滑动槽二(882),所述固定座(881)的内部靠近滑动槽二(882)的一侧开设有通孔二(883),所述固定座(881)的内部靠近通孔二(883)的一侧开设有送料孔(884)。
2.根据权利要求1所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述固定结构(65)的数量有两个,且每个固定结构(65)的大小相同,所述送料孔(884)的数量有两个,且每个送料孔(884)的大小相同,所述放料筒(10)的数量有两个,且每个放料筒(10)的大小相同。
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