[发明专利]一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机有效

专利信息
申请号: 202111528465.0 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN114227481B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 龚胜;胡天;徐志强;陈逢军 申请(专利权)人: 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司
主分类号: B24B27/00 分类号: B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/22;H01L21/67
代理公司: 长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226 代理人: 谭勇
地址: 410000 湖南省长沙市高新开发区*** 国省代码: 湖南;43
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 多工位 同步 晶圆加 工用 砂轮 划片
【权利要求书】:

1.一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的顶部固定连接有床身(2),所述床身(2)的顶部固定连接有盖板(3),所述盖板(3)的底部设置有划片结构(4),所述床身(2)的左侧开设有凹槽(5),所述机架(1)的顶部设置有多工位结构(6),所述机架(1)的顶部设置有稳定结构(7),所述机架(1)的顶部靠近盖板(3)的底部设置有多工位同步给料结构(8),所述床身(2)的右侧固定连接有固定柱(9),所述固定柱(9)的右端固定连接有放料筒(10),所述放料筒(10)的内部活动连接有晶圆本体(11);

所述划片结构(4)包括电动液压缸(41),所述电动液压缸(41)的底部固定连接在盖板(3)的顶部,所述电动液压缸(41)的内部活动连接有液压杆(42),所述液压杆(42)的底部固定连接有连接板(43),所述连接板(43)的底部固定连接有U形块(44),所述U形块(44)的前侧外壁固定连接有旋转电机(45),所述旋转电机(45)输出端的后端外壁转动连接在U形块(44)的内部,所述旋转电机(45)的输出端外壁螺纹连接有螺纹块(46),所述螺纹块(46)的底部前侧外壁固定连接有转动电机(47),所述转动电机(47)输出端的后端外壁转动连接在螺纹块(46)的内部,所述螺纹块(46)的外壁固定连接有磨砂轮(48);

所述多工位结构(6)包括电机一(61),所述电机一(61)的底部镶嵌在机架(1)的顶端内部,所述电机一(61)的内部固定连接有转动轴一(62),所述转动轴一(62)的顶部固定连接有齿轮(63),所述齿轮(63)的顶部固定连接有放置板(64),所述放置板(64)的一侧设置有固定结构(65);

所述固定结构(65)包括电动伸缩缸(651),所述电动伸缩缸(651)的底部固定连接在齿轮(63)的顶部,所述电动伸缩缸(651)的内部活动连接有伸缩杆(652),所述伸缩杆(652)的右端固定连接有推动板(653),所述推动板(653)的右侧固定连接有推动杆(654),所述推动杆(654)的右端固定连接有固定块(655);

所述稳定结构(7)包括电机二(71),所述电机二(71)的底部固定连接在机架(1)的顶部,所述电机二(71)的内部固定连接有转动轴二(72),所述转动轴二(72)的顶端外壁固定连接有固定环(73),所述固定环(73)的左侧外壁固定连接有卡接块(74);

所述多工位同步给料结构(8)包括支撑杆(81),所述支撑杆(81)的左端固定连接在床身(2)的右侧,所述支撑杆(81)的右端固定连接有支撑架(82),所述支撑架(82)的底部右端固定连接有固定板(83),所述固定板(83)的内部开设有通孔一(84),所述固定板(83)的内部靠近通孔一(84)的顶部外壁开设有滑动槽一(85),所述滑动槽一(85)的内部设置有活动结构(86),所述滑动槽一(85)的内部固定连接有电动气缸(87),所述支撑架(82)的顶部右端设置有送料结构(88);

所述活动结构(86)包括滑动板(861),所述滑动板(861)的底部滑动连接在滑动槽一(85)的内部,所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔一(862),所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔二(863),所述滑动板(861)的顶部固定连接有销座(864),所述销座(864)的内部固定连接有销轴(865),所述销轴(865)的外壁活动连接有活动块(866),所述活动块(866)的前侧外壁固定连接有矩形块(867);

所述送料结构(88)包括固定座(881),所述固定座(881)的左侧外壁固定连接在支撑架(82)的顶部右端,所述固定座(881)的内部开设有滑动槽二(882),所述固定座(881)的内部靠近滑动槽二(882)的一侧开设有通孔二(883),所述固定座(881)的内部靠近通孔二(883)的一侧开设有送料孔(884)。

2.根据权利要求1所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机,其特征在于:所述固定结构(65)的数量有两个,且每个固定结构(65)的大小相同,所述送料孔(884)的数量有两个,且每个送料孔(884)的大小相同,所述放料筒(10)的数量有两个,且每个放料筒(10)的大小相同。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司,未经湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111528465.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top