[发明专利]检测单晶炉同轴度的方法、装置、设备及计算机存储介质

说明书

本发明实施例公开了一种检测单晶炉同轴度的方法、装置、设备及计算机存储介质；所述方法包括：从CCD相机采集到的对中盘图像中捕获所述对中盘圆周方向上刻度线之间的第一像素间距离；基于所述第一像素间距离与对应的所述对中盘圆周方向上刻度线之间的实际距离，确定所述实际距离与所述第一像素间距离之间的对应关系；获取所述对中盘第一像素中心与激光束照射至所述对中盘上的光斑对应的第二像素中心之间的第二像素间距离；基于所述第二像素间距离与所述对应关系，确定重锤中心与炉体中心之间的第二实际距离。

技术领域

本发明实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种检测单晶炉同轴度的方法、装置、设备及计算机存储介质。

背景技术

单晶炉在实际生产前，需要对单晶炉进行一系列的调试，根据拉晶工艺的要求，调试时必须进行上、下传动的对中，确保籽晶轴与坩埚轴的同轴度低于某个标准值。目前，调试对中采用肉眼估算法，即在籽晶绳上挂上重锤后，将重锤降到引晶位置与石墨托盘近似接触的地方，人从外部观察窗进行评估。这种方法，因人与被观测物距离远且视野范围受限，且测量过程中重锤会在圆心附近做圆周运动导致人工无法准确观察，对量值的估算误差极大，直接影响到晶棒的品质。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例期望提供一种检测单晶炉同轴度的方法、装置、设备及计算机存储介质；能够解决现有的检测单晶炉同轴度的方法存在的精度差、难以观测的问题，提高了单晶硅棒的品质。

本发明实施例的技术方案是这样实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种检测单晶炉同轴度的方法，所述方法包括：

从CCD相机采集到的对中盘图像中捕获所述对中盘圆周方向上刻度线之间的第一像素间距离；

基于所述第一像素间距离与对应的所述对中盘圆周方向上刻度线之间的实际距离，确定所述实际距离与所述第一像素间距离之间的对应关系；

获取所述对中盘第一像素中心与激光束照射至所述对中盘上的光斑对应的第二像素中心之间的第二像素间距离；

基于所述第二像素间距离与所述对应关系，确定重锤中心与炉体中心之间的第二实际距离；其中，所述重锤中心与所述炉体中心之间的第二实际距离用于表征单晶炉的同轴度偏差值。

第二方面，本发明实施例提供了一种检测单晶炉同轴度的装置，所述装置包括：捕获部分、第一确定部分、获取部分和第二确定部分；其中，

所述捕获部分，经配置为从CCD相机采集到的对中盘图像中捕获所述对中盘圆周方向上刻度线之间的第一像素间距离；

所述第一确定部分，经配置为基于所述第一像素间距离与对应的所述对中盘圆周方向上刻度线之间的实际距离，确定所述实际距离与所述第一像素间距离之间的对应关系；

所述获取部分，经配置为获取所述对中盘第一像素中心与激光束照射至所述对中盘上的光斑对应的第二像素中心之间的第二像素间距离；

所述第二确定部分，经配置为基于所述第二像素间距离与所述对应关系，确定重锤中心与炉体中心之间的第二实际距离；其中，所述重锤中心与所述炉体中心之间的第二实际距离用于表征单晶炉的同轴度偏差值。

第三方面，本发明实施例提供了一种检测单晶炉同轴度的设备，所述设备应用于单晶炉，所述设备包括：设置于籽晶轴下方的重锤、与所述重锤螺纹连接的激光发生器、CCD相机、存储器以及处理器；其中，

所述存储器，用于存储能够在所述处理器上运行的计算机程序；

所述处理器，用于在运行所述计算机程序时，执行以下步骤：

从CCD相机采集到的对中盘图像中捕获所述对中盘圆周方向上刻度线之间的第一像素间距离；