[发明专利]一种抛光液落点测量装置

权利要求书

1.一种抛光液落点测量装置，其特征在于，包括固定座、水平板和定位件，所述固定座用于可拆卸地设置于化学机械抛光设备的抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝抛光盘的中心延伸，所述定位件设置于所述固定座的侧部并位于水平板之下；所述定位件的内侧壁为与抛光垫的外径相匹配的圆弧结构；抛光液落至所述水平板的上表面，水平板的上表面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置；

其中，所述水平板的上表面形成为亲水或超亲水表面，以防止滴落在其表面的抛光液形成液珠在惯性作用下移动。

2.如权利要求1所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，所述水平板朝向抛光盘的端面的投影线与抛光盘的中心点重合，所述刻度线为圆弧线，所述圆弧线的圆心与所述抛光盘或抛光垫的中心重合。

3.如权利要求1所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，还包括显示试纸，其设置于所述水平板的上表面，抛光液滴落至显示试纸后，所述显示试纸的颜色发生改变。

4.如权利要求1所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，所述固定座、水平板和定位件由非金属材料制成。

5.如权利要求1所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，所述水平板的上表面形成有用于阻碍抛光液移动的表面结构。

6.如权利要求1所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，所述水平板的外沿配置有隔板，所述隔板自水平板的上表面竖直延伸而成。

7.如权利要求6所述的抛光液落点测量装置，其特征在于，所述隔板包括前隔板和侧隔板，两者一体成型设置于水平板的外沿；所述侧隔板的长度大于水平板长度的一半。