[发明专利]一种微纳米复合结构的制作方法

权利要求书

1.一种微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供第一支撑件，在所述第一支撑件上形成塑形层，所述塑形层的形状可变；

在所述塑形层上层叠设置分隔层，所述分隔层形成有第一通孔；

在所述分隔层上层叠设置纳米模板，所述纳米模板包括第一基层和多个纳米柱，多个所述纳米柱形成在所述第一基层朝向所述分隔层的表面，且所述纳米模板与所述分隔层相接触，所述纳米柱的尺寸小于所述第一通孔的尺寸，且在所述第一通孔正对的位置至少设有一个所述纳米柱；

在所述纳米模板上层叠设置第二支撑件，挤压所述第一支撑件和/或所述第二支撑件，以使得所述塑形层至少部分自所述第一通孔进入所述分隔层，且与所述第一基层接触，所述纳米柱在所述塑形层上形成第一凹槽，以使所述塑形层形成微纳米复合结构。

2.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述分隔层的制作步骤，包括：

提供第三支撑件，在所述第三支撑件上层叠设置第一倒模，所述第一倒模包括第二基层和微米柱，所述微米柱形成在所述第二基层朝向所述第三支撑件的表面，且所述微米柱与所述第三支撑件相接触；

在所述第三支撑件和所述第二基层之间填充第一材料，并使所述第一材料包围所述微米柱；

固化所述第一材料，并分离所述第三支撑件和所述第一倒模，从而使所述第一材料形成所述分隔层，且所述分隔层上形成有与所述微米柱互补的所述第一通孔。

3.根据权利要求2所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述第一倒模的制作步骤，包括：

提供第一模板，所述第一模板的表面形成有第二凹槽；

在所述第一模板上覆盖第二材料，且所述第二材料填充所述第二凹槽；

固化所述第二材料，并分离所述第一模板，从而使所述第二材料形成所述第一倒模，且所述第一倒模的表面形成有与所述第二凹槽互补的所述微米柱。

4.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述纳米模板的制作步骤，包括：

提供第二模板，所述第二模板的表面形成有第三凹槽；

在所述第二模板上覆盖第三材料，且所述第三材料至少部分进入所述第三凹槽；

固化所述第三材料，并分离所述第二模板，从而使所述第三材料形成所述纳米模板，且所述纳米模板的表面形成有与所述第三凹槽互补的所述纳米柱。

5.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述分隔层与所述纳米柱相接触。

6.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述分隔层与所述第一基层相接触。

7.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述第一通孔为多个，且相邻两个所述第一通孔之间具有间隔距离，相邻所述纳米柱之间具有间隔距离。

8.根据权利要求7所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，多个所述第一通孔和多个所述纳米柱均呈阵列排布。

9.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述塑形层为热塑性材料，挤压所述第一支撑件和/或所述第二支撑件过程中，加热所述塑形层，以使所述塑形层软化且具有流动性。

10.根据权利要求1所述的微纳米复合结构的制作方法，其特征在于，所述第一支撑件为硬性材质，所述第二支撑件为软性材质，挤压所述第一支撑件时，所述第二支撑件用于保护所述第一支撑件。