[发明专利]一种铝蚀刻液中醋酸的检测方法

权利要求书

1.一种铝蚀刻液中醋酸的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.配制质量浓度在10~16%之间梯度浓度的醋酸溶液，各醋酸溶液中均添加质量分数为60~75%的磷酸、质量分数为0.4~3.0%的硝酸，作为标准样；

S2.在铝蚀刻液待测液与配制的标准样中加入萃取剂和助剂，振揺后静置分层，弃去下层的水相，得到有机相；

所述萃取剂为乙酸丙酯、乙酸丁酯或乙醚；

所述助剂为水或盐溶液，所述盐溶液中的盐为氯化钠或氯化钾；

每次测样过程中，铝蚀刻液待测液和标准样选用的萃取剂和助剂的种类、添加量保持一致；

S3.将有机相加水后，用电位滴定仪和氢氧化钠标准溶液进行滴定，设置pH达到12时停止滴定，根据等当点时氢氧化钠标准溶液的消耗量绘制标准曲线，横轴为消耗的氢氧化钠标准溶液的体积与其浓度之积，纵轴为样品中的醋酸的实际浓度，计算铝蚀刻液待测液中醋酸的浓度。

2.根据权利要求1所述的铝蚀刻液中醋酸的检测方法，其特征在于，铝蚀刻液待测液的原料及组分包括：

磷酸：质量分数60~75%；

醋酸：质量分数10~16%；

硝酸：质量分数0.4~3.0%；

余量为水。

3.根据权利要求2所述的铝蚀刻液中醋酸的检测方法，其特征在于，铝蚀刻液待测液还包括聚乙二醇，添加量为0.1-1%。

4.根据权利要求1所述的铝蚀刻液中醋酸的检测方法，其特征在于，铝蚀刻液待测液与萃取剂的质量比在0.5-4之间。

5.根据权利要求1所述的铝蚀刻液中醋酸的检测方法，其特征在于，助剂添加量不超过铝蚀刻液待测液质量的4倍。