[发明专利]一种检测机械臂刮伤的方法在审
| 申请号： | 202111547662.7 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114193451A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 胡海天;连仲渊 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 机械 臂刮伤 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，所述检测机械臂刮伤的方法，包括：
执行步骤S1：以晶圆圆心为坐标原点，读取晶圆之缺陷图谱上的所有缺陷点坐标信息；
执行步骤S2：剔除所述缺陷点中随机分布的离群缺陷点；
执行步骤S3：对剔除离群缺陷点后的剩余缺陷点进行函数拟合，获得晶圆刮伤区域对应的拟合函数；
执行步骤S4：计算获得所述拟合函数与所述晶圆圆心之间的距离L，则宽度2L视为产生刮伤的机械臂之宽度尺寸；
执行步骤S5：将宽度2L与机械臂之宽度尺寸的数据集进行比对，定位与所述拟合尺寸2L最接近的机械臂为产生刮伤的机械臂。
2.如权利要求1所述检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，对所述缺陷点中随机分布的离群缺陷点进行剔除采用随机抽样一致算法。
3.如权利要求1所述检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，对剔除离群缺陷点后的剩余缺陷点进行函数拟合采用最小二乘法。
4.如权利要求1所述检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，所述拟合函数为二元一次函数。
5.如权利要求1所述检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，将宽度2L与机械臂之宽度尺寸的数据集进行比对，即通过差值计算获得所述宽度2L与机械臂之宽度尺寸的差值。
6.如权利要求5所述检测机械臂刮伤的方法，其特征在于，所述宽度2L与机械臂之宽度尺寸的差值最小的被定位为产生刮伤的机械臂。
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