[发明专利]一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备有效

专利信息
申请号: 202111548660.X 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114216417B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 陈乃奇;胡学艳 申请(专利权)人: 深圳市先地图像科技有限公司
主分类号: G01B21/02 分类号: G01B21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518126 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 阵列 光斑 偏移 检测 方法 系统 相关 设备
【权利要求书】:

1.一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法,其特征在于,所述激光阵列中包含至少两颗相对位置固定的激光器,分别为标定激光器、目标激光器,所述方法包括:

控制所述标定激光器保持第一高度沿激光扫描方向进行扫描,在曝光面上形成标准线L1;

以所述标定激光器在第一高度时所述目标激光器的光斑在所述曝光面所处的高度为第二高度,将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,并控制所述目标激光器逐层进行标定操作;所述标定操作是指沿所述激光扫描方向每标定预设长度的标定线段之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,继续沿所述激光扫描方向标定预设长度的标定线段;

确定所有标定线段中最先与所述标准线对齐的线段L2,并获取所述L2与所述第二高度之间包含所述D2的数量N;

根据公式(N*D2)计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,并控制所述目标激光器逐层进行标定操作,包括:

将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,标定一层区域之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,控制所述目标激光器返回与上一层区域初始扫描位置对齐的位置以对下一层区域进行标定操作。

3.一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法,其特征在于,所述激光阵列中包含至少两颗相对位置固定的激光器,分别为标定激光器、目标激光器,所述方法包括:

控制所述标定激光器保持第一高度沿激光扫描方向进行扫描,在曝光面上形成标准线L1;

以所述标定激光器在第一高度时所述目标激光器的光斑在所述曝光面所处的高度为第二高度,控制所述目标激光器从所述第二高度开始向所述L1靠近预设高度D1;

将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,标定一层区域之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,控制所述目标激光器返回与上一层区域初始扫描位置对齐的位置以对下一层区域进行标定操作;所述标定操作是指沿所述激光扫描方向每标定预设长度的标定线段之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,继续沿所述激光扫描方向标定预设长度的标定线段;

确定所有标定线段中最先与所述标准线对齐的线段L2,并获取所述L2与所述第二高度之间包含所述D2的数量N;

根据公式(D1+N*D2)计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,当激光阵列中包含多颗激光器时,所述方法还包括:

将激光阵列中激光器两两分组,每一组中的一颗激光器作为标定激光器,另一颗激光器作为目标激光器,以同时控制多组激光器进行标定操作。

5.一种激光阵列中激光光斑偏移检测系统,其特征在于,所述激光阵列中包含至少两颗相对位置固定的激光器,分别为标定激光器、目标激光器,所述系统包括:

第一控制模块,用于控制所述标定激光器保持第一高度沿激光扫描方向进行扫描,在曝光面上形成标准线L1;

第二控制模块,以所述标定激光器在第一高度时所述目标激光器的光斑在所述曝光面所处的高度为第二高度,将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,并控制所述目标激光器逐层进行标定操作;所述标定操作是指沿所述激光扫描方向每标定预设长度的标定线段之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,继续沿所述激光扫描方向标定预设长度的标定线段;

第一处理模块,用于确定所有标定线段中最先与所述标准线对齐的线段L2,并获取所述L2与所述第二高度之间包含所述D2的数量N;

第二处理模块,用于根据所述D2与数量N计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量,具体计算过程包括:根据公式(N*D2)计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量;

所述第二控制模块,包括:

控制单元,将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,标定一层区域之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,控制所述目标激光器返回与上一层区域初始扫描位置对齐的位置以对下一层区域进行标定操作。

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