[发明专利]一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备有效

专利信息
申请号: 202111548660.X 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114216417B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 陈乃奇;胡学艳 申请(专利权)人: 深圳市先地图像科技有限公司
主分类号: G01B21/02 分类号: G01B21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518126 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 阵列 光斑 偏移 检测 方法 系统 相关 设备
【说明书】:

本申请实施例提供了一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备。本申请实施例中,采用标定激光器构造直线作为标准线之后,控制目标激光器从初始位置向标准线L1逐步靠近的同时进行标定操作,被标定的点在标准线L1周围形成在激光扫描方向的垂直方向等距分布的标定线段,确定与标准线L1对齐的标定线段L2,通过识别L2与目标激光器的初始位置之间的距离而间接检测两个激光器的激光光斑的距离。本申请检测精度为相邻的标定线段在激光扫描方向的垂直方向的间距值,该间距值可达像素级,检测精度高。其次,由于标定线段沿激光扫描方向分散分布,避免了标定线段集中叠加在密集区域而照成的图像识别干扰,大大提高了检测精度。

技术领域

本申请涉及激光成像技术领域,尤其涉及激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备。

背景技术

激光直接成像是指控制激光照射曝光面上的感光涂层进行图像曝光,显影之后生成预设的图像。激光直接成像技术相对于传统工艺,无需制作掩膜,降低了工艺复杂度,节约了生产成本,可应用于丝网印刷制版、PCB制造等领域。

为提高激光成像效率,相关技术(例如申请号为:201310084860.3,平面丝网印刷网版用激光直接制版装置及方法)中的激光直接成像设备中设置有多颗激光器沿直线等距离分布组成激光阵列对曝光面进行扫描曝光。

相关技术中,由于激光器的安装误差、激光器在曝光面上的光斑偏移等因素影响,激光器在曝光面上的光斑在Y方向(与激光扫描方向垂直)的坐标值可能不相同存在偏差,需要基于偏差值以实现每颗激光器扫描的像素行分配。为此,激光器在曝光面上的光斑在Y方向的校准精度往往要达到十微米左右,目前的CCD相机很难在大幅面范围内达到十微米级的精度识别要求,且光斑识别困难,如何精确测量激光阵列中的多颗激光器的光斑在Y方向的偏移量成为了亟待解决的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法、系统及相关设备,用于提高激光阵列中激光光斑偏移检测的精度和检测效率。

本申请实施例第一方面提供了一种激光阵列中激光光斑偏移检测方法,所述激光阵列中包含至少两颗相对位置固定的激光器,分别为标定激光器、目标激光器,所述方法可包括:

控制所述标定激光器保持第一高度沿激光扫描方向进行扫描,在曝光面上形成标准线L1;

以所述标定激光器在第一高度时所述目标激光器的光斑在所述曝光面所处的高度为第二高度,将所述第二高度与所述L1之间的区域分为多层,并控制所述目标激光器逐层进行标定操作;所述标定操作是指沿所述激光扫描方向每标定预设长度的标定线段之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,继续沿所述激光扫描方向标定预设长度的标定线段;

确定所有标定线段中最先与所述标准线对齐的线段L2,并获取所述L2与所述第二高度之间包含所述D2的数量N;

根据所述D2与数量N计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量。

可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中,所述将当前位置与所述L1之间的区域分为多层,并控制所述目标激光器逐层进行标定操作,可以包括:

将当前位置与所述L1之间的区域分为多层,标定一层区域之后,向所述L1靠近相同的直线距离D2,控制所述目标激光器返回与上一层区域初始扫描位置对齐的位置以对下一层区域进行标定操作。

可选的,作为一种可能的实施方式,本申请实施例中,所述根据D2与数量N计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量,可以包括:

根据公式(N*D2)计算目标激光器与所述标定激光器的光斑中心在激光扫描方向的垂直方向上的偏移量。

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