[发明专利]直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法

权利要求书

1.直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，其特征在于，所述的控制方法包括：还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护过程、硅料破碎和硅料筛分。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的还原炉底盘清理时，将底盘上的硅粉污垢清理干净，并吸走硅粉碎屑。

3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的钟罩清洗时，清洗干净后，烘干。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的拆卸硅棒时，对于易产生磁性物质的部位进行更换、防腐、或包裹。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的硅棒洁净防护过程时，将拆炉后的硅棒盖住进行防护。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的硅棒洁净防护过程时，将拆炉后的硅棒采用PE膜盖住。

7.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的硅料破碎过程，在材质为碳化钨板的装置上进行。

8.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的硅料破碎过程中，将电机、传动皮带与硅料进行隔离。

9.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，

所述的硅料筛分过程中，将随机抽取的硅料依次采用8mm、3mm、0.85mm的筛子进行筛分，监测3mm以下硅料中磁性物质的数量。