[发明专利]直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法

说明书

本发明为直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法。直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，所述的控制方法包括：还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护过程、硅料破碎和硅料筛分。本发明所述的直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，通过对还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护过程、硅料破碎和硅料筛分的控制，可以实现磁性物质的控制标准。

技术领域

本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及一种直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法。

背景技术

多晶硅料是生产直拉单晶或区熔单晶的原料(以下将多晶硅料均称为直拉或区熔单晶用料)，其产品质量决定单晶的少子寿命、电池的转换效率、单晶的引放次数、成晶率。目前，全世界有几十家多晶硅生产企业，近些年来随着洁净意识的提升，人员质量素养的提升，产品质量逐渐提升，各家生产企业有自己的生产及质量控制方法，但质量波动性较大。

目前，行业上生产此种直拉或区熔单晶用料的方法为：将三氯氢硅与氢气通过管道输送到还原炉中，在一定热场条件下反应，生成硅多晶，沉积在硅芯晶种表面，当生长到一定直径后，将硅棒拆卸下来。这个过程是在一定的洁净等级下进行的，然后将硅料进行人工或机械破碎，将破碎后块状后的硅料通过筛板进行筛分。筛板有固定式和振动筛分两种，目的有两个：(1)将硅料按照不同尺寸进行分类；(2)将硅料中的碎小的杂物筛分出来。

硅棒的整个生产过程中，从还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护、破碎、筛分、包装，都有外界环境的污染及非硅物质混淆在硅料中。然后当硅料被污染及夹杂非硅异物后，下游客户用来直拉或区熔单晶后，单晶产品的少子寿命降低、单晶引放次数增加、成晶率降低。

有鉴于此，本发明提出一种直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，可以有效控制生产质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，从多个方面控制磁性物质的产生，从而达到控制生产质量的目的。

为了实现上述目的，所采用的技术方案为：

直拉或区熔单晶用料生产过程中产品质量的控制方法，所述的控制方法包括：还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护过程、硅料破碎和硅料筛分。

进一步的，所述的还原炉底盘清理时，将底盘上的硅粉污垢清理干净，并吸走硅粉碎屑。

进一步的，所述的钟罩清洗时，清洗干净后，烘干。

进一步的，所述的拆卸硅棒时，对于易产生磁性物质的部位进行更换、防腐、或包裹。

进一步的，所述的硅棒洁净防护过程时，将拆炉后的硅棒盖住进行防护。

进一步的，所述的硅棒洁净防护过程时，将拆炉后的硅棒采用PE膜盖住。

进一步的，所述的硅料破碎过程，在材质为碳化钨板的装置上进行。

进一步的，所述的硅料破碎过程中，将电机、传动皮带与硅料进行隔离。

进一步的，所述的硅料筛分过程中，将随机抽取的硅料依次采用8mm、3mm、0.85mm的筛子进行筛分，监测3mm以下硅料中磁性物质的数量。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1、本发明的技术方案通过控制还原炉底盘清理、钟罩清洗、拆卸硅棒、硅棒洁净防护、硅料破碎环节等，减少铁屑等磁性物质的产生。

2、本发明的技术方案通过筛分的方法，将硅料中铁屑等磁性物质筛分出来。

3、本发明的技术方案通过监测成品包装每10kg硅料中铁屑等磁性物质的数量，来不断调节生产过程的管控，并控制成品质量。

具体实施方式