[发明专利]晶棒脱胶装置

权利要求书

1.一种晶棒脱胶装置，其特征在于，包括

能够容纳待脱胶的晶棒组件的箱体；

所述箱体内容纳有溶解剂，待脱胶的晶棒组件容纳于所述箱体内时，连接于所述晶棒上的固体胶浸没于所述溶解剂内；

加热结构，设置于所述箱体内，用于加速所述固体胶与晶棒的分离。

2.根据权利要求1所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，还包括超声结构，设置于所述箱体内，用于产生超声波以加速所述固体胶与晶棒的分离。

3.根据权利要求1所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述溶解剂包括超纯水和丙酮。

4.根据权利要求1所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述箱体顶部设置有排气口，以用于排出固体胶溶解过程中产生的气体。

5.根据权利要求1所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述箱体内设置有用于夹持固定晶棒的夹持结构。

6.根据权利要求5所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述夹持结构将所述晶棒夹持固定于第一位置，使得在初始状态，所述晶棒组件与所述箱体底部之间具有间隙。

7.根据权利要求5所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述夹持结构包括相对设置的两个弧形抱爪，两个所述弧形抱爪的凹面相对设置，且所述弧形抱爪的凹面的形状与所述晶棒的外周面的形状相符。

8.根据权利要求7所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述箱体内还设置有用于控制所述夹持结构移动的移动结构。

9.根据权利要求8所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述移动结构包括水平移动单元，所述水平移动单元包括设置于所述箱体顶部的导轨，所述夹持结构可移动的设置于所述导轨上。

10.根据权利要求9所述的晶棒脱胶装置，其特征在于，所述移动结构包括升降运动单元，所述升降运动单元包括设置于所述导轨和所述夹持结构之间的伸缩杆，所述伸缩杆的一端设置有与两个所述抱爪对应连接的两个连接杆。