[发明专利]波长可变滤光器、波长可变滤光器的控制方法及记录介质

权利要求书

1.一种控制方法，其为具备对置的两个反射膜、和能够改变所述两个反射膜的相对位置的致动器部的波长可变滤光器的控制方法，其中，

所述致动器部具备：

第一致动器，其根据所述两个反射膜之间的目标距离而被驱动；

第二致动器，其根据所述目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值而被反馈控制，

所述控制方法具备：

(a)接收所述两个反射膜之间的新的目标距离的工序；

(b)根据所述新的目标距离来对所述第一致动器进行驱动，从而改变所述两个反射膜的相对位置的工序；

(c)根据所述新的目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值而对所述第二致动器进行反馈控制，从而改变所述两个反射膜的相对位置的工序，

在被预先规定的条件被满足的情况下，在所述工序(b)的开始后、且经过了被预先规定的阈值时间之后，开始所述工序(c)。

2.如权利要求1所述的控制方法，其中，

所述波长可变滤光器具备反馈控制部，所述反馈控制部实施所述第二致动器的所述反馈控制，

在所述工序(b)的开始后、所述工序(c)的开始前，所述反馈控制部不实施所述反馈控制的运算，所述第二致动器被赋予和在所述工序(b)的开始前从所述反馈控制部被赋予的驱动电压相同大小的驱动电压。

3.如权利要求1所述的控制方法，其中，

所述波长可变滤光器具备反馈控制部，所述反馈控制部实施所述第二致动器的所述反馈控制，

所述反馈控制部具备反馈驱动部，所述反馈驱动部被输入所述两个反射膜之间的目标距离与所述两个反射膜的距离的检测值的偏差，从而对所述第二致动器进行反馈控制，

在所述工序(b)的开始后、所述工序(c)的开始前，所述反馈驱动部作为所述偏差而被输入零从而实施所述反馈控制。

4.如权利要求1所述的控制方法，其中，

所述波长可变滤光器具备反馈控制部，所述反馈控制部实施所述第二致动器的所述反馈控制，

所述反馈控制部具备反馈驱动部，所述反馈驱动部被输入所述两个反射膜之间的目标距离与所述两个反射膜的距离的检测值的偏差，从而对所述第二致动器进行反馈控制，

在所述工序(b)的开始后、所述工序(c)的开始前，所述反馈驱动部作为所述偏差而被输入从所述工序(b)的开始前的偏差的值起单调递减至零的值从而实施所述反馈控制。

5.如权利要求1、3以及4中的任意一项所述的控制方法，其中，还具备：

(d)在所述工序(b)的开始后、且经过所述阈值时间前被执行的工序，在该工序中，根据所述新的目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值来对所述第二致动器进行反馈控制，从而改变所述两个反射膜的相对位置，

所述工序(c)为，作为所述反馈控制而实施比例积分微分控制的工序，

所述工序(d)为，作为所述反馈控制而实施比例微分控制的工序。

6.如权利要求1、3以及4中的任意一项所述的控制方法，其中，还具备：

(d)在所述工序(b)的开始后、且经过所述阈值时间前被执行的工序，在该工序中，根据所述新的目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值来对所述第二致动器进行反馈控制，从而改变所述两个反射膜的相对位置，

所述工序(c)为，作为所述反馈控制而实施比例积分微分控制的工序，

所述工序(d)为，作为所述反馈控制而实施比例积分微分控制的工序，且为实施积分要素的增益从零起单调递增至所述工序(c)中的积分要素的增益的值为止的控制的工序。

7.如权利要求1所述的控制方法，其中，

所述被预先规定的条件为，所述新的目标距离与所述两个反射膜的此前的目标距离之差大于被预先规定的阈值距离。

8.如权利要求1所述的控制方法，其中，

所述阈值时间为，在所述波长可变滤光器中，为通过所述第一致动器而被位移的结构、且包括所述两个反射膜的至少一方在内的结构的固有振动的周期的1/4的90％～110％的时间。