[发明专利]波长可变滤光器、波长可变滤光器的控制方法及记录介质

说明书

本发明提供一种在波长可变滤光器中使变更透过光的波长的控制稳定的波长可变滤光器及其控制方法以及记录介质。本发明对具备对置的两个反射膜、和改变它们的相对位置的致动器部的波长可变滤光器进行控制。致动器部具备根据两个反射膜之间的目标距离而被驱动的第一致动器、和根据目标距离与两个反射膜的距离的检测值而被反馈控制的第二致动器。控制方法具备：(a)接收两个反射膜间的新的目标距离的工序；(b)根据新的目标距离来驱动第一致动器的工序；(c)根据新的目标距离和两个反射膜的距离的检测值来反馈控制第二致动器的工序。在被预先规定的条件被满足的情况下，在工序(b)开始后、且经过了被预先规定的阈值时间后，开始工序(c)。

技术领域

本公开涉及一种波长可变滤光器、波长可变滤光器的控制方法及其程序。

背景技术

法布里-珀罗标准具为，具备面对面的两个反射面的光学元件。法布里-珀罗标准具在被入射有光时，使预先规定的波长的光以较高的透过率透过。以下，将法布里-珀罗标准具记载为“标准具”。

专利文献1的波长可变标准具通过对两个反射膜之间的距离进行调节，从而能够改变透过光的波长。专利文献1的波长可变标准具具备：第一静电致动器；第二静电致动器；可动部，其具有反射膜，并且通过第一静电致动器以及第二静电致动器而发生位移。第一静电致动器根据被设定为各种各样的值的透过光的目标波长而被驱动，从而使可动部进行位移。第二静电致动器基于两个反射膜之间的距离而被反馈控制，从而使可动部进行位移。其结果为，被保持在可动部上的反射膜和被固定的反射膜之间的距离被精密地调节。然后，标准具使与目标波长准确一致的波长的光透过。

但是，在专利文献1的波长可变标准具中，由于可动部通过两个致动器来实施位移，并且一方的致动器基于两个反射膜之间的距离而被实施反馈控制，因此会产生以下的问题。

当透过光的目标波长被变更时，被赋予到第一静电致动器上的电压将变化为与目标波长相应的值。同时，用于将两个反射膜之间的目标距离赋予给第二静电致动器的目标信号会发生变化。但是，对于第一静电致动器而言，在被赋予到第一静电致动器上的电压刚变化为与新的目标波长相应的值之后，并不能完成可动部的位移。也就是说，在透过光的目标波长刚被变更之后，两个反射膜之间的距离为接近变更前的目标距离的值。因此，在第二静电致动器的控制部中被输入有如下偏差，即，与两个反射膜之间的新的目标距离相应的目标信号、和与接近两个反射膜之间的此前的目标距离的实际距离相应的检测信号的偏差。

其结果为，第二静电致动器的控制部为了消除由于目标距离被变更而突然增大的偏差，从而急剧地使可动部进行位移。另一方面，第一静电致动器也根据被赋予的电压，从而使可动部向朝向与新的目标距离相应的位置的方向进行位移。因此，可动部从此前的位置起向朝向与新的目标距离相应的位置的方向而过度位移，从而发生过冲。在消除该过冲并使可动部的位置的变动变得足够小之前，会花费很多时间。如此，在专利文献1的波长可变标准具中，存在有用于对透过光的波长进行变更所需的时间变长的情况。

专利文献1：日本特开2013-238755号公报

发明内容

根据本公开的一个方式，提供一种具备对置的两个反射膜、和能够改变所述两个反射膜的相对位置的致动器部的波长可变滤光器的控制方法。所述致动器部具备：第一致动器，其根据所述两个反射膜之间的目标距离而被驱动；第二致动器，其根据所述目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值而被反馈控制。所述控制方法具备：(a)接收所述两个反射膜之间的新的目标距离的工序；(b)根据所述新的目标距离来对所述第一致动器进行驱动，从而改变所述两个反射膜的相对位置的工序；(c)根据所述新的目标距离和所述两个反射膜的距离的检测值而对所述第二致动器进行反馈控制，从而改变所述两个反射膜的相对位置的工序。在被预先规定的条件被满足的情况下，在所述工序(b)的开始后、且经过了被预先规定的阈值时间之后，开始所述工序(c)。

附图说明

图1为表示第一实施方式的分光测量装置1的概略结构的框图。