[发明专利]运料机构、清洗系统和片材的转运方法

说明书

本发明提出了一种运料机构、清洗系统和片材的转运方法；运料机构包括至少一个存储装置、中转装置和翻转装置；存储装置位于第一工位，存储装置用于存放片材；中转装置位于第二工位，中转装置用于在存储装置中取放片材；翻转装置位于第三工位，翻转装置一方面用于承接中转装置中的片材，或转运片材至中转装置中，另一方面用于调整片材的放置方向；其中，第一工位、第二工位、第三工位依次设置。通过本申请提出的运料机构对片材转运，实现了片材的自动转运，进而可以提升运料机构对片材转运的自动化程度，节省了人力，保证了人身安全，也减少了环境条件对设备的影响以及对设备工艺效果的影响。

技术领域

本发明属于半导体清洗技术领域，具体而言，涉及一种运料机构、清洗系统和片材的转运方法。

背景技术

现有湿法处理设备中，在清洗晶圆的过程中，需要人工手动搬运晶圆，不仅增加人工成本，设备自动化程度低，且晶圆在晶圆盒内的放置方向与湿法设备中晶圆放置方向不一致，若采用人工调整的方式，易造成晶圆损坏，不利于生产。

发明内容

本发明旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的第一方面提出一种运料机构。

本发明的第二方面提出一种清洗系统。

本发明的第三方面提出一种片材的转运方法。

有鉴于此，本发明的第一方面提出了一种运料机构，运料机构包括至少一个存储装置，中转装置和翻转装置；存储装置位于第一工位，存储装置用于存放片材；中转装置位于第二工位，中转装置用于在存储装置中取放片材；翻转装置位于第三工位，翻转装置一方面用于承接中转装置中的片材，或转运片材至中转装置中，另一方面用于调整片材的放置方向；其中，第一工位、第二工位、第三工位依次设置。

在该技术方案中，运料机构包括至少一个存储装置，中转装置和翻转装置；存储装置位于第一工位，存储装置用于存放片材；进而实现对片材的存储。中转装置位于第二工位，中转装置用于在存储装置中取放片材；进而通过中转装置可以实现对片材的转运，以将片材转运到存储装置中，或将片材从存储装置中取出。翻转装置位于第三工位，翻转装置一方面用于承接中转装置中的片材，或转运片材至中转装置中，进而实现翻转装置可以对中转装置转运的片材进行承接，翻转装置还可以将片材转运到中转装置中。另一方面用于调整片材的放置方向，使得翻转装置还可以实现对片材摆放位置进行调整，第一工位、第二工位、第三工位依次设置，将多个工位依次设置，更加地有利于对片材继续运输，提升片材的转运效率，通过本申请提出的对片材转运方式，实现了片材的自动转运，进而可以提升运料机构对片材转运的自动化程度，节省了人力，保证了人身安全，也减少了环境条件对设备的影响以及对设备工艺效果的影响，即避免了相关技术中，由于较多人员的流动导致影响设备环境的洁净度，进而影响设备的工艺处理效果。

第一工位、第二工位、第三工位依次设置，可以是第一工位、第二工位、第三工位依次序排列在一条直线上或大致在一条直线上，也可以呈转角排列，即依次设置理解为第一工位、第二工位、第三工位的处理工序依次设置，先经过第一工位的工序、再经过第二工位的工序、最后是第三工位的工序。

具体的，翻转装置用于将片材从一个状态翻转至另一个状态，具体地，可以是从水平状态翻转到垂直状态，或者从垂直状态翻转至水平状态，以便于后续的承接平台承接片材或者是中转装置承接片材，翻转装置还包括驱动装置，驱动装置可使用伺服电机+蜗杆涡轮减速机，不仅可实现驱动，还可以起到调节速度的功能。

可选地，片材为晶圆。

另外，根据本发明上述技术方案提供的运料机构，还具有如下附加技术特征：

在本发明的一个技术方案中，存储装置包括多个储位和调整组件，多个储位用于放置片材；调整组件设于储位内，用于调整片材的放置角度。