[发明专利]晶圆无尘取片装置

权利要求书

1.一种晶圆无尘取片装置，包括一个底座，在底座上设置有机械臂，机械臂可上下以及水平移动，其特征在于：所述机械臂上设置若干个夹爪以及驱动机构，驱动机构可带动夹爪移动从而夹持晶圆片，在机械臂上还设置有吹气装置，用于将晶圆盒中晶圆片吹起。

2.根据权利要求1所述的晶圆无尘取片装置，其特征在于：在机械臂上设置有一个固定架以及转动盘，所述固定架上沿转动盘径向设置有滑轨，所述夹爪上设置有滑块，滑块与滑轨相配合，转动盘上设置有滑槽，滑槽与夹爪一一对应，滑槽与转动盘圆心之间的距离从一端到另一端逐渐增大或者减少，夹爪的端部位于滑槽中，转动盘由驱动机构驱动转动，转动盘带动夹爪通过滑块在滑轨上滑动。

3.根据权利要求2所述的晶圆无尘取片装置，其特征在于：所述驱动机构包括一个电机，在电机端部设置有驱动齿轮，在转动盘上与驱动齿轮啮合的齿条，齿条呈弧形。

4.根据权利要求3所述的晶圆无尘取片装置，其特征在于：所述转动盘上还设置有挡光板，在机械臂上设置有用于检测挡光板的位置感应器。

5.根据权利要求4所述的晶圆无尘取片装置，其特征在于：所述转动盘还设置有限位挡块，限位挡块用于限制转动盘的转动行程。