[发明专利]纳米结构显影装置、显影方法及应用

权利要求书

1.一种纳米结构显影装置，其特征在于，包括：依次连通的液体容器、液体小分子发生器、样品室和废液收集装置；

所述液体小分子发生器用于将来源于液体容器的液体实现小分子液体；

所述废液收集装置用于回收小分子液体。

2.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述液体容器包括显影液容器和定影液容器，分别用于存储显影液和定影液；

所述显影液容器和定影液容器分别与液体小分子发生器相连通。

3.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述液体小分子发生器实现小分子液体的方法包括但不限于超声。

4.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述样品室设置有固定夹，用于固定样品；

优选地，所述固定夹自身角度可调。

5.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述样品室包括加热装置，用于加热样品。

6.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述废液收集装置包括负压装置。

7.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，还包括保护气通入装置，用于给样品提供保护气氛；

优选地，所述保护气包括氮气。

8.根据权利要求1所述的纳米结构显影装置，其特征在于，所述纳米结构显影装置可密闭。

9.一种显影方法，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的纳米结构显影装置进行显影；

优选地，样品的光刻胶图形面朝向运动而来的小分子液体。

10.权利要求1-8任一项所述的纳米结构显影装置或权利要求9所述的显影方法在光刻领域中的应用。