[发明专利]纳米结构显影装置、显影方法及应用

说明书

本发明提供了一种纳米结构显影装置、显影方法及应用，涉及光刻技术领域。本发明提供的纳米结构显影装置，包括依次连通的液体容器、液体小分子发生器、样品室和废液收集装置，其中，液体容器中能够存储显影液或定影液，液体小分子发生器能够将来源于液体容器中的液体变成小分子非流动液体，废液收集装置能够将这些小分子非流动液体回收，小分子非流动液体形式的显影液到达样品表面后，曝光区的光刻胶会溶解于小分子非流动液体中，从而实现对样品的显影，显影结束后，再用小分子非流动液体形式的定影液进行定影操作，该纳米结构显影装置避免了显影或定影过程中液体的粘滞力会导致结构移位和倒塌的问题，能够实现高深宽比纳米光刻胶结构显影。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种纳米结构显影装置、显影方法及应用。

背景技术

随着科学技术的发展，很多领域借助微纳米结构实现传统尺寸结构的功能，降低了功能单元的尺寸。纳米结构的实现方法中，光刻是必须的步骤，电子束曝光方法是非常重要的手段，但高深宽比光刻胶结构的显影存在问题，显影过程中液体的粘滞力容易导致结构移位和倒塌。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种纳米结构显影装置，以解决上述问题中的至少一种。

本发明的第二目的在于提供一种显影方法，该方法采用上述纳米结构显影装置进行显影，操作方便。

本发明的第三目的在于提供上述纳米结构显影装置或显影方法在光刻领域中的应用。

第一方面，本发明提供了一种纳米结构显影装置，包括：依次连通的液体容器、液体小分子发生器、样品室和废液收集装置；

所述液体小分子发生器用于将来源于液体容器的液体实现小分子液体；

所述废液收集装置用于回收小分子液体。

作为进一步技术方案，所述液体容器包括显影液容器和定影液容器，分别用于存储显影液和定影液；

所述显影液容器和定影液容器分别与液体小分子发生器相连通。

作为进一步技术方案，所述液体小分子发生器实现小分子液体的方法包括但不限于超声。

作为进一步技术方案，所述样品室设置有固定夹，用于固定样品；

优选地，所述固定夹自身角度可调。

作为进一步技术方案，所述样品室包括加热装置，用于加热样品。

作为进一步技术方案，所述废液收集装置包括负压装置。

作为进一步技术方案，还包括保护气通入装置，用于给样品提供保护气氛；

优选地，所述保护气包括氮气。

作为进一步技术方案，所述纳米结构显影装置可密闭。

第二方面，本发明提供了一种显影方法，采用上述纳米结构显影装置进行显影；

优选地，样品的光刻胶图形面朝向运动而来的小分子液体。

第三方面，本发明提供了上述纳米结构显影装置或显影方法在光刻领域中的应用。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：