[发明专利]一种带平台透镜的波前测试方法及装置

权利要求书

1.一种带平台透镜的波前测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：干涉光路测试：取下干涉仪物镜（2），移开测试夹具（17）以及测试透镜（11），使干涉仪主机（1）发出的光线直接经过反射镜反射原路返回，形成干涉条纹；

步骤二：发射镜校正：通过校正螺母（9）调整平面反射镜（5）的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，则表示干涉仪主机（1）和平面反射镜（5）之间处于平行状态；

步骤三：透镜安装：然后安装干涉仪物镜（2），将测试透镜（11）平放在测试夹具（17）上，此时，透镜平台与测试夹具平台贴合，测试夹具下表面与反射镜贴合；

步骤四：透镜检测：打开干涉仪主机（1）对测试透镜（11）进行检测便可。

2.根据权利要求1所述的一种带平台透镜的波前测试方法，其特征在于：所述步骤一具体为：通过干涉条纹对平面反射镜（5）进行校平，或者通过平面反射镜（5）上的校平箱（8）查看平面反射镜（5）的水平状态，在通过校正螺母（9）对平面反射镜（5）进行调平。

3.一种带平台透镜的安装方法，其特征在于，包括以下方法：

首先通过下层活动夹具（402）上的第二传动螺母（16）移动下层夹具机构（4）之间的间距；

在通过上层夹具机构（3）上的第一传动螺母（15）调整上层夹具机构（3）之间的间距；

最后将测试透镜（11）放置在测试夹具（17）上；

其中，测试夹具（17）与平面反射镜（5）活动连接，测试夹具（17）放置在平面反射镜（5）的上侧面。

4.一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述包括干涉仪主机（1）以及设置在所述干涉仪主机（1）正下方的所述测试夹具（17），所述平面反射镜（5）设置在所述测试夹具（17）的底侧面；

所述测试透镜（11）设置在所述测试夹具（17）上，所述测试透镜（11）设置在所述干涉仪物镜（2）的正下方。

5.根据权利要求4所述的一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述测试夹具（17）包括上层夹具机构（3）和下层夹具机构（4），所述上层夹具机构（3）设置在所述下层夹具机构（4）的上方；

所述下层夹具机构（4）包括下层固定夹具（401）和下层活动夹具（402），所述下层固定夹具（401）和所述下层活动夹具（402）通过推进轴（404）连接，所述推进轴（404）贯穿所述下层活动夹具（402）并连接有第二传动螺母（16），所述第二传动螺母（16）用于固定所述下层固定夹具（401）与所述下层活动夹具（402）之间的间距；

所述下层固定夹具（401）上设置有导向定位轴（403），所述导向定位轴（403）贯穿所述下层活动夹具（402）并与所述下层活动夹具（402）滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述上层夹具机构（3）包括上层固定夹具（301）和上层活动夹具（302），所述上层固定夹具（301）固定在所述下层固定夹具（401）的上侧面，所述上层活动夹具（302）滑动设置在所述下层活动夹具（402）的上侧面；

所述上层活动夹具（302）的内部转动设置有传动杆（13），所述传动杆（13）上设置有第一传动螺母（15）和传动齿（14），所述第一传动螺母（15）设置在所述上层活动夹具（302）的外部，所述传动齿（14）设置在所述上层活动夹具（302）的内部；

所述下层活动夹具（402）的上侧面设置有驱动齿槽（406），所述传动齿（14）与所述驱动齿槽（406）啮合连接，所述第一传动螺母（15）用于水平移动所述上层活动夹具（302）。

7.根据权利要求4所述的一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述平面反射镜（5）底侧面固定设置有反光镜支点（10），所述反光镜支点（10）的一侧固定设置有连接杆接头（501），所述连接杆接头（501）上通过连接杆（7）转动连接有校正螺母（9）。