[发明专利]一种带平台透镜的波前测试方法及装置

说明书

本发明涉及透镜检测技术领域，具体为一种带平台透镜的波前测试方法及装置，包括以下步骤：步骤一：干涉光路测试：干涉仪主机形成干涉条纹；步骤二：发射镜校正：使干涉仪主机和平面反射镜处于平行状态；步骤三：透镜安装：安装干涉仪物镜和测试夹具上；步骤四：透镜检测：打开干涉仪主机进行检测便可。本发明调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，使干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态，然后安装干涉仪物镜，将测试透镜平放在测试夹具内，再将测试夹具平放在平面反射镜上，测试透镜和测试夹具之间不会产生倾斜，测试夹具和反射镜之间紧密贴合，不会引入由于安装调节不到位而引入的倾斜，解决带平台透镜波前的快速测量问题。

技术领域

本发明涉及一种透镜的波前测试方法及装置，特别是涉及一种带平台透镜的波前测试方法及装置，属于透镜检测技术领域。

背景技术

平台透镜的波前测试装置主要应用于带平台光学元件的波前测试，传统的装置采用立式的干涉光路进行测试，利用平台定位，比传统的卧式干涉光路更为便捷，适用于大批量快速测量应用，传统的卧式干涉光路调试比较困难，容易引入较大的系统调试误差，而立式的可以有效利用透镜平台进行定位，无需复杂的调节，有效避免由于调节不到位引入的倾斜误差。

另外，卧式的干涉测试结构中，透镜靠柱体定位，容易滚动，且由于重力 发生倾斜，而立式的测试结构，透镜可以靠重力水平安装在测试夹具中。

因此，亟需对透镜的波前测试方法及装置进行改进，以解决上述存在的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种带平台透镜的波前测试方法及装置，调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，使干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态，然后安装干涉仪物镜，将测试透镜平放在测试夹具内，再将测试夹具平放在平面反射镜上，测试透镜和测试夹具之间不会产生倾斜，测试夹具和反射镜之间紧密贴合，也不会产生倾斜，整个系统中不会引入由于安装调节不到位而引入的倾斜，解决带平台透镜波前的快速测量问题。

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种带平台透镜的波前测试方法，包括以下步骤：

步骤一：干涉光路测试：取下干涉仪物镜，移开测试夹具以及测试透镜，使干涉仪主机发出的光线直接经过反射镜反射原路返回，形成干涉条纹；

步骤二：发射镜校正：通过校正螺母调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，则表示干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态；

步骤三：透镜安装：然后安装干涉仪物镜，将测试透镜平放在测试夹具上，此时，透镜平台与测试夹具平台贴合，测试夹具下表面与反射镜贴合；

步骤四：透镜检测：打开干涉仪主机对测试透镜进行检测便可；

优选的，所述步骤一具体为：通过干涉条纹对平面反射镜进行校平，或者通过平面反射镜上的校平箱查看平面反射镜的水平状态，在通过校正螺母对平面反射镜进行调平；

通过以上技术方案，测试时，先不用安装干涉仪物镜，移开测试夹具和测试透镜，干涉仪主机出射的光线会直接经过平面反射镜反射原路返回，形成干涉条纹，此时，调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，则表示干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态，然后安装干涉仪物镜，将测试透镜平放在测试夹具内，再将测试夹具平放在平面反射镜上，此时，透镜平台与测试夹具平台贴合，测试夹具下表面与平面反射镜，测试透镜和测试夹具之间不会产生倾斜，同时，测试夹具和参考反射镜之间紧密贴合，也不会产生倾斜，整个系统中不会引入由于安装调节不到位而引入的倾斜，解决带平台透镜波前的快速测量问题，同时解决透镜在测试过程中由于安装调节不到位引入的倾斜误差问题。

一种带平台透镜的安装方法，包括以下方法：

首先通过下层活动夹具上的第二传动螺母移动下层夹具机构之间的间距；

在通过上层夹具机构上的第一传动螺母调整上层夹具机构之间的间距；

最后将测试透镜放置在测试夹具上；