[发明专利]一种蚀刻液组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种蚀刻液组合物，其包括：过氧化氢、络合剂、有机酸、盐酸、硝酸、无机盐、铜缓蚀剂、过氧化氢稳定剂和水，所述有机酸为甲基磺酸和酒石酸；所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠、2-氨基-2-甲基-1-丙醇和甘氨酸。

2.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述过氧化氢的含量为5wt%-10wt%。

3.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述络合剂的含量为0.05wt%-2wt%。

4.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述有机酸的含量为0.5wt%-5wt%。

5.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述盐酸的含量为0.1wt-5wt%。

6.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述硝酸的含量为0.1wt%-2wt%。

7.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述无机盐的含量为0.1wt%-1wt%。

8.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述铜缓蚀剂的含量为0.5wt%-5wt%。

9.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述过氧化氢稳定剂的含量为0.1wt%-3wt%。

10.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述过氧化氢的含量为5wt%-10wt%，所述络合剂的含量为0.05 wt%-2wt%，所述有机酸的含量为0.5 wt%-5wt%，所述盐酸的含量为0.1wt-5wt%，所述硝酸的含量为0.1wt%-2wt%，所述无机盐的含量为0.1wt%-1wt%，所述铜缓蚀剂的含量为0.5wt%-5wt%，所述过氧化氢稳定剂的含量为0.1wt%-3wt%，余量为水。

11.根据权利要求1所述的组合物，以组合物的总质量计算，所述过氧化氢的含量为6wt%-8wt%；所述络合剂的含量为1wt%-1.5wt%；所述有机酸的含量为1wt%-3wt%；所述盐酸的含量为1wt-2wt%；所述硝酸的含量为0.5wt%-1wt%；所述无机盐的含量为0.5wt%-1wt%；所述铜缓蚀剂的含量为1wt%-3wt%；所述过氧化氢稳定剂的含量为1wt%-2wt%，余量为水。

12.根据权利要求1-11任一项所述的组合物，所述过氧化氢稳定剂包括苯酚磺酸钠、聚丙二醇和胺类化合物。

13.根据权利要求1-11任一项所述的组合物，所述无机盐包括磷酸二氢铵、氯化铵、氯化钾、氯化钠中的至少一种。

14.根据权利要求12所述的组合物，所述胺类化合物包括丁胺、戊胺、辛胺、2-乙基-1-丁烷胺、2-乙基己胺、庚胺、己胺或环己胺中的至少一种。

15.根据权利要求1-11任一项所述的组合物，所述铜缓蚀剂包括唑类化合物。

16.根据权利要求15所述的组合物，所述唑类化合物包括氨基四唑、咪唑和吡唑中的至少一种。

17.根据权利要求15所述的组合物，所述唑类化合物为咪唑和氨基四唑。

18.一种权利要求1-17任一项所述的蚀刻液组合物的制备方法，其包括：将络合剂、有机酸、盐酸、硝酸、无机盐、铜缓蚀剂、过氧化氢稳定剂、过氧化氢与水混合，溶解，得到所述蚀刻液组合物。