[发明专利]一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法

权利要求书

1.一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：包括旋转轴（3）和顶升轴（4）；

所述旋转轴（3）和顶升轴（4）均设置在固定块（5）内；

所述旋转轴（3）和顶升轴（4）上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所旋转轴（3）与顶升轴（4）的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块（5）的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿（6）；

所述顶升轴（4）的顶部设置靶材孔（7），所述靶材孔（7）包括靶材放置位（7.1）和顶升位（7.2）；

所述顶升位（7.2）的内径与顶升轴（4）相匹配；

所述靶材放置位（7.1）的内径大于顶升位（7.2），且与靶材（8）相匹配；

所述顶升位（7.2）上方的一侧设置离子枪（9）。

2.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材孔（7）有多个，多个靶材孔（7）沿圆周状分布在靶材转盘（10）内。

3.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述顶升轴（4）顶部与靶材（8）的接触面为喷砂面。

4.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述旋转轴（3）与传动轴（2）相连，所述传动轴（2）的另一端连接电机（1）。

5.根据权利要求1所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材放置位（7.1）内设置靶材（8），所述靶材（8）的数量为至少一个。

6.根据权利要求2所述的一种用于靶材的旋转顶升系统，其特征在于：所述靶材转盘（10）设置在凸轮分割器上。

7.一种用于靶材的旋转顶升系统的工作方法，其特征在于：

包括以下步骤：

步骤一：电机（1）的传动轴（2）转动，使旋转轴（3）开始缓慢转动，旋转轴（3）的螺旋叶片与顶升轴（4）的螺旋叶片啮合，且固定块（5）的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿（6），旋转轴（3）顺时针或逆时针转动时带动顶升轴（4）升降；

步骤二：顶升轴（4）顶升进入靶材孔（7）的顶升位（7.2），继续向上顶升，其顶部摩擦面与靶材（8）接触，并将靶材（8）从靶材放置位（7.1）中顶出，靶材（8）同样跟随顶升轴（4）缓慢转动，被上方的离子枪（9）均匀燃烧；

步骤三：靶材（8）燃烧完毕后，旋转轴（3）反向旋转，顶升轴（4）下降退出顶升位（7.2）；此时，靶材转盘（10）转动至下一靶材工位，旋转轴（3）再次正向旋转，重复步骤一~步骤二的工序；

步骤四：向燃烧完毕的靶材工位内加料，完成循环。

8.根据权利要求7所述的一种用于靶材的旋转顶升系统的工作方法，其特征在于：所述步骤四中的加料步骤是待靶材燃烧完毕后，靶材转盘（10）转动至加料位，并将靶材放入。