[发明专利]一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法

说明书

本发明涉及一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法，属于太阳能电池制造的技术领域。它包括旋转轴和顶升轴；所述旋转轴和顶升轴均设置在固定块内，所述旋转轴和顶升轴上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所旋转轴与顶升轴的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿；所述顶升轴的顶部设置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和顶升位；所述顶升位的内径与顶升轴相匹配；所述靶材放置位的内径大于顶升位，且与靶材相匹配；所述顶升位上方的一侧设置离子枪。本发明采用旋转顶升方式，在顶升靶材时，使靶材旋转上升，使靶材圆柱体旋转，各面都均匀燃烧，提高了靶材的利用率，还解决了透明导电膜色差问题。

技术领域

本发明涉及一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法，属于太阳能电池制造的技术领域。

背景技术

现有技术下，在太阳能电池制造领域，在异质结电池生产过程中，第四道工艺RPD工序，采用等离子枪溅射靶材，使靶材燃烧产生蒸汽，在硅片表面形成一层透明导电膜；但是，目前靶材顶升装置是通过顶杆直接顶起靶材，在靶材燃烧的过程中，以一定的时间间隔顶起靶材，靶材不旋转，只做上下移动；这就会导致靶材在对着离子枪的一侧燃烧较快，背面一侧燃烧较慢，影响气体的均匀分布，导致导电膜镀膜不均匀，在外观上出现色差，同时影响做成电池片的电性能，而且燃烧不完全也降低了靶材的利用率。

例如专利公开号为CN208378977U的中国专利公开了一种集CVD和PVD一体的真空镀膜设备，包括真空箱体，真空箱体内顶部或侧部设有基片固定机构，在真空箱体内充满已经加热后的靶材和由机械手控制旋转360度工作的离子枪，靶材以气态的形态沉积在基片表面形成薄膜，离子枪包括与机械手连接的枪把，枪把的端部设有一枪嘴，枪嘴内安装有高频线圈。

上述专利中采用了PVC(物理沉积)和CVD(化学气相沉积)相结合的方式，通过CVD(化学气相沉积)的离子枪结构，可以对应基片的特定位置进行定点镀膜的作用，消除基片特定位置只有单层薄膜的缺陷，可以提高基片在特定位置的抗压能力；但是该专利需要利用机械手控制旋转360度工作的离子枪，其机械手生产成本较高，大大增加了制造成本。

因此，为解决上述背景问题，研发一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法是迫在眉睫的。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述背景问题中提出的问题，提供一种用于靶材的旋转顶升系统及其工作方法，它解决了透明导电膜色差问题，还提高了实际生产中的靶材利用率。

本发明的目的是这样实现的：一种用于靶材的旋转顶升系统，包括旋转轴和顶升轴；

所述旋转轴和顶升轴均设置在固定块内，所述旋转轴和顶升轴上均沿螺旋状排布设置有螺旋叶片，所旋转轴与顶升轴的螺旋叶片之间为啮合结构，并在固定块的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿；

所述顶升轴的顶部设置靶材孔，所述靶材孔包括靶材放置位和顶升位；

所述顶升位的内径与顶升轴相匹配；

所述靶材放置位的内径大于顶升位，且与靶材相匹配；

所述顶升位上方的一侧设置离子枪。

优选的，所述靶材孔有多个，多个靶材孔沿圆周状分布在靶材转盘内；所述靶材转盘设置在凸轮分割器上。

优选的，所述顶升轴顶部与靶材的接触面为喷砂面。

优选的，所述旋转轴与传动轴相连，所述传动轴的另一端连接电机。

优选的，所述靶材放置位内设置靶材，所述靶材的数量为至少一个。

一种用于靶材的旋转顶升系统的工作方法，包括以下步骤：

步骤一：电机的传动轴转动，使旋转轴开始缓慢转动，旋转轴的螺旋叶片与顶升轴的螺旋叶片啮合，且固定块的内侧壁上设置有与螺旋叶片结构匹配的螺旋状卡齿，旋转轴顺时针或逆时针转动时带动顶升轴升降；