[发明专利]一种柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺

权利要求书

1.一种柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，包括，S1、将工件在第一减薄室进行化学减薄；S2、将在第一减薄室减薄后的工件上下翻转180°；S3、将翻转后的工件在第二减薄室进行化学减薄；S4、将在第二减薄室减薄后的工件在第三减薄室进行化学减薄；所述工件包括待减薄玻璃。

2.根据权利要求1所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，测量在第一减薄室减薄后待减薄玻璃的厚度，当厚度在目标厚度200％以内时，方可进行下一步操作；优选地，测量待减薄玻璃上至少5个点的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，测量在第二减薄室减薄后待减薄玻璃的厚度；当厚度与目标厚度相比，厚度差在10％范围内，进入第三减薄室进行化学减薄；否则，重复步骤S1-S3或仅重复步骤S3；优选地，测量待减薄玻璃上至少5个点的厚度，当每个点的厚度与目标厚度相比，厚度差均在5％范围时，进入第三减薄室进行化学减薄；否则重复步骤S1-S3或仅重复步骤S3。

4.根据权利要求3所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，采用激光测厚仪测量减薄后的待减薄玻璃的厚度；所述激光测厚仪分别设置在第一减薄室与第二减薄室之间以及第二减薄室与第三减薄室之间的独立区域内。

5.根据权利要求1-4任一项所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，S2中，采用旋转装置将减薄后的工件上下翻转180°。

6.根据权利要求1-5任一项所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，所述工件垂直放置在治具架上，由传送装置传送到各个减薄室。

7.根据权利要求1-6任一项所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，所述化学减薄采用顶喷工艺；在化学减薄后，对工件进行清洗和烘干；优选地，还包括S5、将在第三减薄室减薄后的工件进行抛光处理。

8.根据权利要求1-7任一项所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，所述工件还包括支撑基板；支撑基板为厚度为0.5-1mm的玻璃；优选地，所述支撑基板与待减薄玻璃的一面采用UV胶胶黏、固化后胶合在一起；对支撑基板未与待减薄玻璃胶合的另一面进行防酸处理。

9.根据权利要求1-8任一项所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，所述工艺能够将厚度为0.2-0.5mm的待减薄玻璃加工成目标厚度为0.03-0.07mm的柔性玻璃。

10.根据权利要求9所述的柔性玻璃化学减薄自动化生产工艺，其特征在于，将厚度为0.2-0.5mm的待减薄玻璃加工成目标厚度为0.03-0.07mm柔性玻璃的具体工艺包括：

S1、将工件在第一减薄室进行化学减薄：第一减薄室中减薄液为氢氟酸、盐酸、硝酸的混合液，减薄液温度为50-60℃，减薄处理0.5-1.5h；

S2、将在第一减薄室减薄后的工件上下翻转180°；

S3、将翻转后的工件在第二减薄室进行化学减薄：第二减薄室中减薄液的组成为碱性溶液，减薄液温度为30-40℃，减薄处理1.5-2h；

S4、将在第二减薄室减薄后的工件在第三减薄室进行化学减薄：第三减薄室中减薄液组成为氢氟酸、硫酸、有机酸的混合液，减薄液温度为25-35℃，减薄处理0.5-1h；所述工件包括待减薄玻璃和支撑基板。