[发明专利]含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物有效
申请号: | 202111603159.9 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN114415472B | 公开(公告)日: | 2023-08-04 |
发明(设计)人: | 黄光锋;李文武 | 申请(专利权)人: | 上海玟昕科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 延美花;臧建明 |
地址: | 201615 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 聚酰亚胺 前驱 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于,包含:
具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体10~40wt%;
重氮萘醌感光剂10~30wt%;以及
余量的溶剂,
化学式1
其中,R2为衍生自用化学式2表示的基团,R1为衍生自用化学式3表示的基团,
n表示1至25的整数,
化学式2
化学式3
其中,R13及R14分别独立为衍生自用化学式4或化学式5表示的环氧丙烯酸酯基团中任意一个,
化学式4
化学式5
2.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:
所述聚酰亚胺前驱体具有3,000~50,000范围的重均分子量,具有210℃至380℃范围的玻璃转变温度。
3.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:
还包含流平剂、光增敏剂、热阻聚剂、消泡剂及其混合物构成的添加剂。
4.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:
所述感光剂包含重氮萘醌化合物,所述重氮萘醌化合物包括用化学式6至化学式12表示的化合物中至少一种,
化学式6
化学式7
化学式8
化学式9
化学式10
化学式11
化学式12
在所述化学式6至化学式12中,D为氢或化学式13或化学式14的取代基,
化学式13:1,2,4-重氮萘醌磺酸酯
化学式14:1,2,5-重氮萘醌磺酸酯
5.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:
所述溶剂包含二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、二甲基二亚砜、四氢吡喃、二甲苯、二氯苯及丙二醇甲醚中至少一种。
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