[发明专利]含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 202111603159.9 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114415472B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 黄光锋;李文武 申请(专利权)人: 上海玟昕科技有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 延美花;臧建明
地址: 201615 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 含有 聚酰亚胺 前驱 感光性 树脂 组合
【权利要求书】:

1.一种含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于,包含:

具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体10~40wt%;

重氮萘醌感光剂10~30wt%;以及

余量的溶剂,

化学式1

其中,R2为衍生自用化学式2表示的基团,R1为衍生自用化学式3表示的基团,

n表示1至25的整数,

化学式2

化学式3

其中,R13及R14分别独立为衍生自用化学式4或化学式5表示的环氧丙烯酸酯基团中任意一个,

化学式4

化学式5

2.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:

所述聚酰亚胺前驱体具有3,000~50,000范围的重均分子量,具有210℃至380℃范围的玻璃转变温度。

3.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:

还包含流平剂、光增敏剂、热阻聚剂、消泡剂及其混合物构成的添加剂。

4.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:

所述感光剂包含重氮萘醌化合物,所述重氮萘醌化合物包括用化学式6至化学式12表示的化合物中至少一种,

化学式6

化学式7

化学式8

化学式9

化学式10

化学式11

化学式12

在所述化学式6至化学式12中,D为氢或化学式13或化学式14的取代基,

化学式13:1,2,4-重氮萘醌磺酸酯

化学式14:1,2,5-重氮萘醌磺酸酯

5.根据权利要求1所述的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物,其特征在于:

所述溶剂包含二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基乙酰胺、二甲基二亚砜、四氢吡喃、二甲苯、二氯苯及丙二醇甲醚中至少一种。

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