[发明专利]含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物

说明书

本发明公开一种含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物。含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物包含：具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体(10～40wt％)、重氮萘醌感光剂(10～30wt％)、及溶剂，化学式1

技术领域

本发明的实施例涉及含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物。更具体来讲，本发明的实施例涉及含有具有正型(POSITIVE TYPE)的聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物。

背景技术

在显示器元件制造过程中，需要在基板上形成绝缘膜图案或保护膜图案。为了形成所述绝缘膜图案或保护膜图案可以利用感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物含有感光剂。因此光照射时所述感光性树脂组合物可发生光反应。

所述感光性树脂组合物涂覆于基板上形成感光性树脂膜。之后，对所述感光性树脂膜进行光刻工艺形成感光性树脂膜图案。所述感光性树脂膜图案能够用作绝缘膜图案或保护膜图案。

所述光刻工艺中包括的曝光工艺是通过光反应成为可溶于碱性水溶液的树脂，曝光工艺后，利用对碱性水溶液的溶解特性进行显影工艺。

近年来随着显示产业的发展，要求有机发光二极管(Organic light emittin gdiode display；OLED)显示装置用感光性树脂组合物具有相对较低的介电常数、低损耗因数、低吸湿性、高热稳定性等诸多特性。

例如，聚酰亚胺作为具有能够满足上述特性的优良物性的高分子材料受到极大关注。然而，现有聚酰亚胺的基体结构包括具有亲水性羧基的形态的聚酰胺酸。具有所述聚酰亚胺基体结构的聚酰亚胺物质具有过于容易溶解于碱性显影液的特性，因此包含所述聚酰亚胺的感光性树脂膜在显影工艺中存在膜损失大等问题。所以，所述感光性树脂膜上的非曝光区域及曝光区域之间存在溶解度差异不充分的问题。

为了改善所述溶解度差异不充分的问题，本树脂组合物中的聚酰亚胺前驱体中导入包括具有到亲水性羧基和羟基的二胺结构的聚酰亚胺。

由包括所述二胺结构的聚酰亚胺构成的感光性树脂膜能够确保非曝光区域及曝光区域之间的充分的溶解度差异，但是具有所述显影工艺中所述感光性树脂膜的膜减少率高的缺陷。

另外，利用聚酰亚胺树脂形成的绝缘膜图案，而且同时形成隔板或单元间隙保持用图案的情况下，能够缩短工程及提高生产性。为此，要求所述聚酰亚胺树脂膜具有优异的弹性复原率。因此，需要感光性聚酰亚胺组合物不仅具有绝缘特性，同时还具有弹性复原率等多种特性。

目前，正型感光性聚酰亚胺前驱体的树脂组合物是在包含具有聚酰胺酸或羟基的可溶性聚酰亚胺前驱体中添加感光剂(PAC，Photo Acid Compound)等。

但是，所述聚酰胺酸相比于感光剂，对用作显影液的碱性水溶液的溶解度更高，因此不易调节敏感度及残膜率特性，从而存在不易得到所需图案的问题。另外，使用具有羟基的可溶性聚酰亚胺树脂的情况下，在选择多种物质方面存在困难。

发明内容

技术问题

本发明的实施例提供一种含有聚酰亚胺前驱体的正型感光性树脂组合物，对于在显影工艺中用作显影液的碱性水溶液具有相对较低的溶解度，因此能够实现对所述碱性水溶液具有相对低的溶解度的非曝光区域及具有相对高的溶解度的曝光区域。

并且，本发明的实施例提供一种能够实现相对高的弹性复原率、相对低的膜减少率、相对优异的耐热性及粘接力的正型感光性树脂组合物。

技术方案

本发明的实施例的含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物包含：具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体(10～40wt％)，重氮萘醌感光剂(10～30wt％)，以及余量的溶剂，

化学式1