[发明专利]一种晶圆烘箱

权利要求书

1.一种晶圆烘箱，其特征在于：包括烘箱箱体(1)，所述烘箱箱体(1)内开设有开口位于一侧的烘干腔(3)，所述烘箱箱体(1)于所述烘干腔(3)内水平滑移插入有烘干支架(2)，所述烘干支架(2)中部竖直开设有贯通的加热通槽(34)，所述烘干支架(2)于所述加热通槽(34)的两侧壁均匀开设有供晶圆竖直插入的安装插槽(35)，所述烘箱箱体(1)于所述烘干腔(3)底部开设有氮气注入口(5)，所述烘箱箱体(1)于所述氮气注入口(5)处设置有过滤组件(6)，所述烘箱箱体(1)于所述烘干腔(3)远离开口的一侧壁开设有排气口(11)，所述烘箱箱体(1)外侧壁设置有连通于所述排气口(11)的排气管道(12)；所述烘箱箱体(1)于所述烘干腔(3)两侧壁水平设置有滑轨(13)，所述滑轨(13)由靠近所述烘干腔(3)开口一侧至所述排气口(11)一侧延伸，所述烘干支架(2)两侧端设置有抵接于所述滑轨(13)上端且沿所述滑轨(13)长度方向滑移的滑片(14)，所述滑轨(13)远离所述排气口(11)的一端向上弯曲；所述滑片(14)远离所述滑轨(13)的一端面转动设置有转动板(15)，所述转动板(15)的转动轴心位于中部，所述转动板(15)的一端和所述滑片(14)之间设置有第一压簧(16)，所述转动板(15)的另一端设置有定位柱(17)，所述滑片(14)上开设有供所述定位柱(17)插入的第一定位孔(18)，所述滑轨(13)上开设有供所述定位柱(17)插入的第二定位孔(19)；所述烘干支架(2)远离排气口(11)的一端设置有握把(20)，所述烘干支架(2)于所述握把(20)内侧滑移设置有拉杆(42)，所述拉杆(42)的一端水平垂直设置有连接杆(24)，所述连接杆(24)延伸至所述烘干支架(2)侧端，所述连接杆(24)远离所述拉杆(42)的一端设置有抵接于所述转动板(15)远离所述第一压簧(16)一侧端且拨动所述转动板(15)转动的拨板(25)；所述烘干支架(2)于所述握把(20)下侧水平滑移插接有配重杆(27)，烘干支架(2)上设置有供配重杆(27)滑移插接的配重滑槽(26)，所述配重滑槽(26)内插入有第二压簧(28)，所述第二压簧(28)抵接在所述配重杆(27)靠近排气口(11)的一端，所述配重杆(27)远离所述排气口(11)的一端设置有配重块(29)；所述配重块(29)包括固定于配重杆(27)一端的配重底块(30)以及钩挂于所述配重底块(30)远离所述配重杆(27)一端的加码重块(31)，所述烘干支架(2)远离排气口(11)的一端在握把(20)的下侧焊接有转动座(32)，转动座(32)上通过转轴转动连接有拨杆(33)，拨杆(33)的一端开设有腰型孔并转动套设在拉杆(42)的一端，拨杆(33)的另一端卡接在配重底块(30)远离配重杆(27)的一端，拉动拉杆(42)时，带动拨杆(33)转动，拨杆(33)带动配重底块(30)向配重滑槽(26)一侧移动，配重杆(27)向配重滑槽(26)内移动，使得第二压簧(28)压缩，当拨杆(33)转动至与配重底块(30)脱离时，配重杆(27)在第二压簧(28)的作用下弹出。

2.根据权利要求1所述的晶圆烘箱，其特征在于：所述过滤组件(6)包括固定于烘箱箱体(1)内的过滤框(7)以及插接固定于所述过滤框(7)内的过滤芯(8)，所述过滤芯(8)的两侧端设置有多组弹簧组(9)，所述弹簧组(9)远离所述过滤芯(8)的一端设置有抵接于所述过滤框(7)内侧壁的定位板(10)。

3.根据权利要求1所述的晶圆烘箱，其特征在于：所述烘干支架(2)内转动设置有驱动胶辊(38)，所述驱动胶辊(38)周侧端开设有对齐于所述安装插槽(35)且供晶圆插入的驱动环槽(39)。

4.根据权利要求3所述的晶圆烘箱，其特征在于：所述驱动胶辊(38)的一端同轴设置有从动齿轮(40)，所述烘箱箱体(1)于所述烘干腔(3)底壁转动设置有主动齿轮(41)，所述主动齿轮(41)啮合于所述从动齿轮(40)。

5.根据权利要求1所述的晶圆烘箱，其特征在于：所述烘干支架(2)于所述安装插槽(35)内转动设置有胶轮(36)，所述胶轮(36)的周侧端开设有供晶圆插入的滚槽(37)。