[发明专利]一种玻璃连续ITO镀膜设备

说明书

本发明提供一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺，包括连续型镀膜舱，所述连续型镀膜舱中部设置有镀膜室，所述连续型镀膜舱两侧的舱室沿镀膜室左右两侧呈对称式排布，所述连续型镀膜舱两端均开设有内外相通的基片装取门槽，所述基片架进入真空过渡舱后将两侧的基片架配合槽进行封堵，若干所述负压孔通过管道与外部设置的负压泵连通，本发明的转运架在连续型镀膜舱内部实现循环转运，在转运过程中转运架通过进出真空过渡舱从而实现转运架在负压的连续型镀膜舱与外环境之间进行切换，减小了气体抽取时间，同时两侧均作为对侧基片的取片位置，又作为新基片的上片位置，从而在一个闭环循环中实现了两次镀膜，相较于传统的镀膜方式，大大提高了镀膜效率。

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜装置技术领域，具体为一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺。

背景技术

现有技术中公开号为“CN102206806B”的一种生产平板太阳能吸热镀膜板的方法，采用大面积金属片作为基片，载片架两面均可挂金属基片，在真空室外的减速机拖动传送机构带动载片架直线行进，载片架连续匀速依次进入连续镀膜室内的磁控溅射靶与相应的溅射腔室内，溅射腔室内两面均布置有磁控溅射靶，可同时对载片架两面的金属基片依次沉积太阳能吸热功能膜中的红外光反射层/吸热功能层/减反射层等膜层，该装置还提供了生产平板太阳能吸热镀膜板的立式镀膜装置，包括载片架、前真空锁定室、前保持室、前缓冲区、连续镀膜室、后缓冲区、后保持室和后锁定室，生产效率比卧式镀膜装置提高一倍，具有吸收率高、发射率低的优点。

但是上述该生产平板太阳能吸热镀膜板的方法所采用的设备在使用过程中仍然存在较为明显的缺陷：1、上述装置及现有技术中的连续型镀膜设备，均通过进出连续镀膜舱室的基片架进行镀膜，在镀膜过程中，基片架进出连续型镀膜舱，并在外部转运设备的输送下完成循环转运，但该种基片架转运方式使得进出连续性镀膜舱过程中均需进行长时间的内外气压过渡，从而造成基片架进出时间过长而耽误生产效率；2、上述装置采用外部转运方式，在转运过程中基片架通过外环境进行循环转运，从而造成了处于外环境中的基片架无法进行镀膜的问题，进而大大延误了镀膜效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种玻璃连续ITO镀膜设备和工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种玻璃连续ITO镀膜设备，包括连续型镀膜舱，所述连续型镀膜舱中部设置有镀膜室，所述连续型镀膜舱两侧的舱室沿镀膜室左右两侧呈对称式排布，所述连续型镀膜舱两端均开设有内外相通的基片装取门槽，两侧的所述基片装取门槽内均固定安装有真空过渡舱，所述连续型镀膜舱内部设置有若干输送链轮，若干所述输送链轮上设置有首尾相连且穿过两侧真空过渡舱的链条输送带与基片架，所述链条输送带及基片架在输送链轮的转动下在连续型镀膜舱内作往复循环移动；

两侧的所述真空过渡舱侧边从内至外分别开设有贯通的基片架配合槽以及气动启闭挡板插入槽，所述基片架通过穿设入基片架配合槽的链条输送带进出真空过渡舱，所述基片架进入真空过渡舱后将两侧的基片架配合槽进行封堵，两侧的所述连续型镀膜舱侧边还开设有气动板活动槽，所述气动板活动槽内均固定安装有气动推杆，所述气动推杆的伸缩臂上均固定连接有密封启闭挡板，两侧的所述密封启闭挡板伸缩进入真空过渡舱内用以将气动启闭挡板插入槽进行封闭，所述基片架配合槽和气动启闭挡板插入槽之间的真空过渡舱侧边还开设有若干负压孔，若干所述负压孔通过管道与外部设置的负压泵连通，两侧的所述真空过渡舱内侧还活动设置有密封配合板，所述密封配合板用于抵靠真空过渡舱位于连续型镀膜舱的内侧；

两侧的所述基片架同步进出真空过渡舱，所述密封启闭挡板与密封配合板交替工作用以将真空过渡舱的内外两侧进行封闭。

优选的，所述镀膜室前后两侧的内侧壁均安装有镀膜靶材。

优选的，所述镀膜室两侧的连续型镀膜舱内由近及远分别设置有加热室、过渡室和进出片室。