[发明专利]阵列基板、OLED面板及OLED面板的制作方法

权利要求书

1.一种阵列基板，包括基板，所述基板上设有多条相互垂直的数据线和栅极线，所述数据线和所述栅极线交叉限定出多个像素区域，每个所述像素区域内设有一像素及控制所述像素的驱动薄膜晶体管和开关薄膜晶体管，所述开关薄膜晶体管与所述数据线、所述栅极线以及所述驱动薄膜晶体管连接，所述驱动薄膜晶体管还与电源线以及所述像素连接，其特征在于，所述驱动薄膜晶体管的亚阈值摆幅大于所述开关薄膜晶体管的亚阈值摆幅。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，

所述驱动薄膜晶体管的沟道的长度小于所述开关薄膜晶体管的沟道的长度。

3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述开关薄膜晶体管包括：

开关有源层，设置于基板上；

开关栅极绝缘层，覆盖于所述开关有源层的部分表面；

开关栅极，连接所述栅极线，覆盖于所述开关栅极绝缘层远离所述开关有源层的表面；

开关层间电介质层，覆盖于所述开关栅极的表面以及所述开关栅极绝缘层的侧边；

开关源极，连接所述数据线，且与所述开关有源层的一端连接，设置于所述开关层间电介质层的一侧，以通过所述开关层间电介质层与所述开关栅极间隔设置；

开关漏极，与所述开关有源层的另一端连接，设置于所述开关层间电介质层的另一侧，以通过所述开关层间电介质层与所述开关栅极间隔设置，且与所述开关源极分别位于所述开关栅极的两端；

所述驱动薄膜晶体管包括：

驱动有源层，设置于基板上；

驱动栅极绝缘层，覆盖于所述驱动有源层的部分表面；

驱动栅极，连接所述开关漏极，覆盖于所述驱动栅极绝缘层远离所述驱动有源层的表面；

驱动层间电介质层，覆盖于所述驱动栅极的表面以及所述驱动栅极绝缘层的侧边；

驱动源极，连接所述电源线，且与所述驱动有源层的一端连接，设置于所述驱动层间电介质层的一侧，以通过所述驱动层间电介质层与所述驱动栅极间隔设置；

驱动漏极，连接所述像素，与所述驱动有源层的另一端连接，设置于所述驱动层间电介质层的另一侧，以通过所述驱动层间电介质层与所述驱动栅极间隔设置，且与所述驱动源极分别位于所述驱动栅极的两端；

其中，所述驱动栅极绝缘层与所述驱动有源层的连接处在所述驱动源极和所述驱动漏极之间的长度小于所述开关栅极绝缘层与所述开关有源层的连接处在所述开关源极和所述开关漏极之间的长度。

4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，

所述驱动薄膜晶体管的栅极绝缘层的厚度大于所述开关薄膜晶体管的栅极绝缘层的厚度。

5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述驱动有源层连接所述驱动源极的位置到连接所述驱动漏极的位置的长度小于所述开关有源层连接所述开关源极的位置到连接所述开关漏极的位置的长度。

6.根据权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述驱动栅极在所述驱动源极和所述驱动漏极之间的长度小于所述开关栅极在所述开关源极和所述开关漏极之间的长度。

7.一种OLED面板，包括框体以及位于所述框体中的阵列基板，其特征在于，

所述阵列基板为权利要求1～6中任意一项所述的阵列基板。

8.一种OLED面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一种基板；

在所述基板表面制作驱动薄膜晶体管和开关薄膜晶体管；

利用平坦层覆盖所述驱动晶体管和所述薄膜晶体管；

其中，所述驱动薄膜晶体管的亚阈值摆幅大于所述开关薄膜晶体管的亚阈值摆幅。