[发明专利]一种掩膜版交接工位的标定方法及装置

说明书

本发明公开了一种掩膜版交接工位的标定方法及装置，包括如下步骤：将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。本公开的方法可以有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种掩膜版交接工位的标定方法及装置。

背景技术

掩模板作为大型半导体工艺设备的核心物料，其传输方式要求具有精度高、安全可靠、稳定性高等特点。掩模传输系统结构紧凑，安全交接是掩模传输的一项核心指标在精确标定机械手交接工位过程中，由于空间尺寸及工况限制，常规方法标定较为繁琐。

在精确标定机械手交接工位过程中，由于空间尺寸及工况限制，常规方法标定较为繁琐、精度无法保障，并且在精确标定过程中无法保证人为造成的安全隐患。

常规的掩模板传输交接工位标定需要手动控制机械手微动步进，实时观察交接的间隙及接触情况，会耗费大量的人力物力，整个标定过程耗时较长、效率较低。

同时常规的掩模板传输交接工位标定过程需要手动控制机械手，因此需要断开机械手的防碰撞互锁装置，人工操作难免发生意外情况，会对掩模板及结构造成较大的安全隐患。

并且利用人工手动完成的标定，即使同一台设备两次标定也无法做到交接工位完全一致，成批量设备更无法保证交接工位的一致性。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜版交接工位的标定方法及装置，可以通过软件算法控制采集第一标定坐标和第二标定坐标，从而有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

本公开提出一种掩膜版交接工位的标定方法，包括如下步骤：将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。

在一些实施例中，在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标包括：

所述第一位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第一横坐标和第二横坐标；

回归所述第一位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第一竖坐标和第二竖坐标。

在一些实施例中，控制所述版叉在Z向进行标定之后，所述标定方法还包括：回归所述第一位置，控制所述版叉在Y向正方向移动，在与限位件接触后，沿Y向负方向回退所述指定距离来确定第二纵坐标；

将所述第二纵坐标对应为位置作为所述第二位置。

在一些实施例中，在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标包括：

在所述第二位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第三横坐标和第四横坐标；

回归所述第二位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第三竖坐标和第四竖坐标。