[发明专利]用于贴标机的检测模组及贴标机在审

专利信息
申请号: 202111637227.3 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN114388408A 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 娄锋 申请(专利权)人: 合肥钛柯精密机械有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;G06T7/00;G06T1/00;B65C9/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄德海
地址: 230088 安徽省合肥市高*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 用于 贴标机 检测 模组
【权利要求书】:

1.一种用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,包括:

检测台(1),所述检测台(1)提供图像采集的可识别范围;

夹持单元(2),所述夹持单元(2)设于所述检测台(1),所述夹持单元(2)适于夹持晶圆以带动所述晶圆在第一方向移动;

图像采集单元(3),所述图像采集单元(3)在第二方向上设置在所述检测台(1)上,所述图像采集单元(3)的图像采集范围包括检测台(1)上的区域,所述第一方向垂直于所述第二方向;

图像分析单元,两个所述图像采集单元(3)与所述图像分析单元通讯相连,所述图像分析单元综合分析两个所述图像采集单元(3)采集到的所述图像信息以获取所述晶圆的ID。

2.根据权利要求1所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,还包括:

控制单元(5),所述控制单元(5)与所述图像采集单元(3)、所述夹持单元(2)通讯相连,当所述晶圆的一半区域到达两个所述图像采集单元(3)的拍摄范围时,所述控制单元(5)控制两个所述图像采集单元(3)采集所述晶圆的所述一半区域的图像信息;当所述晶圆的另一半区域到达两个所述图像采集单元(3)的拍摄范围时,所述控制单元(5)控制两个所述图像采集单元(3)采集所述晶圆的所述另一半区域的图像信息。

3.根据权利要求1所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,所述夹持单元(2)包括:

伸缩机构(21),所述伸缩机构(21)的一端与检测台(1)相连;

夹爪部(22),所述夹爪部(22)设于所述伸缩机构(21)的另一端,在所述伸缩机构(21)的驱动下,所述夹爪部(22)带动所述晶圆沿所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,还包括:

料盒,所述料盒用于存放多个所述晶圆,所述料盒位于所述检测单元背离所述伸缩机构(21)的一侧,所述料盒具有与所述夹爪部(22)相对设置的取料口。

5.根据权利要求4所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,还包括:

升降单元(7),所述升降单元(7)设于所述料盒的底部以改变所述料盒在上下方向上的位置。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,所述图像采集单元(3)为相机,两个所述图像采集单元(3)的拍摄区域在所述第二方向部分重叠。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,在所述第二方向上,两个所述图像采集单元(3)之间的间距小于所述晶圆的直径。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,两个所述图像采集单元(3)的平行设置且高度一致。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100),其特征在于,还包括:

连接板(8),所述图像采集单元(3)通过所述连接板(8)与所述检测台(1)可拆卸地相连。

10.一种贴标机,其特征在于,包括:根据权利要求1-9中任一项所述的用于贴标机的检测模组(100)。

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